BeschreibungSVS 5μ ist eine CIMS AVI-Verifikationsstation, betrieben von Sprint™, zur Überprüfung von mit AVI-Systemen gescannten IC-Substratstreifen. Sie ist für die Inspektion von Leiter-/Fingerbreiten im Bereich 5–8 µm optimiert und bietet präzise Verifikations- und Markierungsfunktionen.
Hauptmerkmale- Flexible Videobeleuchtungs-konfigurationen (reflektierend/koaxial plus drei diffusive Kanäle)
- Automatisierte Materialkalibrierung
- Stationärer Vakuumtisch für stabile Handhabung
- Ergonomisches Arbeitsplatzdesign
- Optimierte Defekt-zu-Defekt-Bewegung für Durchsatz
- Klares Defektbild mit einstellbarer Video-Beleuchtung
Optionen- Integrierter Barcode-Leser
- Verstellbare Monitorposition
- CDB™ / CDBIC™ zur Defektklassifizierung und virtuellen Defektkartierung
Technische Daten- Anwendung: AVI-Verifikation für IC-Substratstreifen
- Optimierte Technologie: Verifikation von Leiter-/Fingerbreiten 5–8 µm
- Beleuchtung: reflektierender/koaxialer Kanal plus drei diffusive Kanäle zur Kontrasterhöhung auf Gold und Lötmaske
- Optik: ermöglicht Markierung von Defekten und Ausschuss defekter Einheiten
- Mechanik & Hardware: robuste Ausführung für hohen Durchsatz
- Benutzeroberfläche & Ergonomie: intuitive Bedienung, minimale Schulung erforderlich
- Kompatibilität: betrieben von Sprint™; kompatibel mit CDB™ und CDBIC™; kompatibel mit allen CIMS AVI-Systemen und Laserkennzeichnungsmaschinen von Drittanbietern