Optisches Inspektionssystem Phoenix PT+

KameraautomatisiertGlasoberflächen

Beschreibung
Phoenix PT+, ein CIMS AOI-System, ist für die Inspektion hochauflösender Phototools wie Filmvorlagen und Glasmasken ausgelegt. Es kann bis zu einer Linien-/Spaltbreite von 12,5 µm scannen. Da Masken mit durchlässigem Licht verwendet werden, verwendet das Phoenix PT+ denselben Beleuchtungsweg für die Inspektion, um Defekte zuverlässig zu erkennen, die sonst auf mit fehlerhaften Masken produzierte Platinen übertragen werden könnten. Das System kombiniert hohe Bildqualität mit anpassbaren Detektionsalgorithmen. Ausgestattet mit modernster Bildaufnahme-Hardware und fortschrittlicher Software liefert die Phoenix-Familie eine hohe Detektionsleistung bei niedriger Fehlalarmrate. Phoenix PT+ wird von Spark™ angetrieben — einer plattformübergreifenden Detektions-Engine.

Merkmale

• Klare oder matte Glastischfläche
• Kompatibel mit einer breiten Palette von Rahmen
• Geeignet für Glasmasken und Filmvorlagen
• Robuste mechanische Konstruktion
• Hoch ergonomisches Design
• Hochleistungs-Firmware für Bildverarbeitung
• Leistungsstarke Prozessoren zur Verarbeitung großer Datenmengen
• Schnelle und intuitive Einrichtung für neue Aufträge

Optionen

• Mehrere Rahmenabmessungen für Glasmasken
• Universalrahmen-Adapter
• Integrierter Höhen-Tracker
• +2CD™ Messtechnik – 2D-Messung von Schaltungselementen
• CDB™/CDBIC™ – Fehlerklassifizierung und virtuelle Fehlerkartierung

Technische Daten

• Minimal detektierbare Linien-/Spaltbreite: 12,5 µm
• Inspektionsziel: hochauflösende Phototools, einschließlich Filmvorlagen und Glasmasken
• Beleuchtung / optischer Pfad: Durchlichtinspektion (gleicher Lichtpfad wie bei der Maskenanwendung)
• Tisch: klare oder matte Glastischfläche
• Rahmenkompatibilität: kompatibel mit einer breiten Palette von Rahmen; mehrere Rahmenabmessungen für Glasmasken als Option verfügbar
• Mechanik: robuste mechanische Struktur mit hoch ergonomischem Design
• Bildaufnahme: moderne Bildaufnahme-Hardware
• Verarbeitung: Hochleistungs-Firmware für Bildverarbeitung und leistungsstarke Prozessoren zur Verarbeitung großer Datenmengen
• Software / Detektions-Engine: angetrieben von der plattformübergreifenden Detektions-Engine Spark™ mit anpassbaren Detektionsalgorithmen
• Einrichtung: schnelle und intuitive Einrichtung für neue Aufträge
• Optionale Metrologie und Klassifikation: +2CD™ 2D-Messtechnik, CDB™/CDBIC™ Fehlerklassifizierung und virtuelle Fehlerkartierung
• Optionales Zubehör: Universalrahmen-Adapter, integrierter Höhen-Tracker