Automatisierte optische Inspektion (AOI) für IC-Substrate mit minimal auflösbarer Linie/Abstand bis 4 µm.
Galaxy 4Cχ ist die neueste AOI-Generation von CIMS, ausgestattet mit Farbkamera und Prisma™ Gen II-Optik für kontraststarke Bildaufnahme bei Produktionsgeschwindigkeit.
Entwickelt zur Unterstützung der Serienfertigung von Next-Generation-IC-Substraten durch Kombination aus hochauflösendem Imaging und konfigurierbaren Erkennungsalgorithmen, angetrieben von Spark™ 3.0.
Modulare Optionen und Metrologie-Pakete ermöglichen Inline-Mess- und Inspektionsabläufe für Panels und Schaltungselemente.
Highlights
Linearmotoren für ruhige und geräuscharme Bewegung
Kompakte mechanische Plattform zur Integration in Fertigungsumgebungen
Hardware-Architektur der 6. Generation
Verbesserter Beleuchtungsblock mit optionaler X-WAVE™ Multi-Wellen-Funktion
Schnelle und intuitive Einrichtung neuer Jobs
Kompatibel mit Front-AMHS-Automation oder Robotertransport
Optionen
Fi™ — Endinspektionsoption für fertige Leiterplatten
+2DM™ Metrologie — Messung von Panel-Abmessungen
+2CD™ Metrologie — 2D-Messung von Schaltungselementen
+3DH™ Metrologie — 3D-Höhenmessung von Schaltungselementen
+3DP™ Metrologie — 3D-Profilierung von Schaltungselementen
LDI™ — Laserbohrinspektionsoption
CDB™/CDBIC™ — Defektklassifizierung und virtuelle Defektkartierung
VVS™ — Virtuelles Verifikationssystem
X-WAVE™ — Multi-Wellen-Beleuchtung
Technische Daten
Anwendung: Automatisierte optische Inspektion (AOI) für IC-Substrate
Minimale auflösbare Linie/Abstand: 4 µm
Kamera: Farbkamera
Optische Technologie: Prisma™ Gen II
Erkennungs-Engine: Spark™ 3.0 (cross-platform)
Bewegungssystem: Linearmotoren für ruhige, geräuscharme Bewegung
Mechanik: Kompakte Plattform für dichte Fabrikumgebungen
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.