BeschreibungAutomatisierte optische Inspektion (AOI) für IC-Substrate: Das Galaxy 5Cχ unterstützt Leiter/Abstand-Technologien bis 5 µm. Für die Hochvolumenfertigung entwickelt, kombiniert es hochauflösende Farbbildgebung mit fortschrittlicher Optik und Erkennungsengines zur Identifikation von Prozess- und Montagefehlern auf fortschrittlichen Substraten.
Hauptfunktionen- Inspektion bis 5 µm Leiter/Abstand für fortgeschrittene IC-Substrate
- Hochauflösende Farbkamera zur verbesserten Merkmalserkennung
- Prisma™ Gen II Optik für flexible Beleuchtung und maximalen Kontrast
- Spark™ 3.0 Erkennungsengine (plattformübergreifend) mit anpassbaren Algorithmen
- Optimiertes Verhältnis von Auflösung und Scan-Geschwindigkeit für hohen Durchsatz
Highlights- Linearmotoren für ruhige, geräuscharme Bewegung
- Kompakte mechanische Plattform zur Anlagenintegration
- 6. Hardware-Generation für verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit
- Verbesserter Beleuchtungsblock mit optionaler X-WAVE™ Mehrwellen-Beleuchtung
- Schnelle und intuitive Einrichtung neuer Jobs zur Reduzierung von Rüstzeiten
- Kompatibel mit Front-AMHS-Automation oder Roboterhandhabung
Optionen- Fi™ — Endinspektionsoption für fertige Platinen
- +2DM™ Metrologie — Messung der Panelabmessungen
- +2CD™ Metrologie — 2D-Messung von Schaltungselementen
- +3DH™ Metrologie — 3D-Höhenmessung von Schaltungselementen
- +3DP™ Metrologie — 3D-Profilierung von Schaltungselementen
- LDI™ — Laserbohrinspektionsoption
- CDB™ / CDBIC™ — Fehlerklassifikation und virtuelle Fehlerkartierung
- VVS™ — virtuelles Verifikationssystem
- X-WAVE™ — Mehrwellen-Beleuchtungsoption
Technische Daten- Anwendung: Automatisierte optische Inspektion (AOI) für IC-Substrate
- Minimale Leiter/Abstand-Fähigkeit: 5 µm
- Kamera: hochauflösende Farbkamera
- Optische Technologie: Prisma™ Gen II (flexible Beleuchtung, hoher Kontrast)
- Erkennungsengine: Spark™ 3.0 (plattformübergreifend, anpassbare Algorithmen)
- Bewegungssystem: Linearmotoren für ruhige, geräuscharme Bewegung
- Mechanisches Design: kompakte Plattform geeignet für Integration
- Hardware-Generation: 6. Generation
- Beleuchtung: verbesserter Beleuchtungsblock; X-WAVE™ optional
- Metrologie-Optionen: +2DM™, +2CD™, +3DH™, +3DP™
- Zusätzliche Optionen: Fi™, LDI™, CDB™/CDBIC™, VVS™
- Automationskompatibilität: kompatibel mit Front-AMHS-Automation oder Roboterhandhabung