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- Vakuum-Beschichtungsanlage
- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Vakuum-Beschichtungsanlage / für kleine Losgrößen DXP-300
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Eigenschaften
- Merkmal
- für kleine Losgrößen
Beschreibung
Übersicht
Zusammensetzung
Technische Daten
Anwendungen
Optionen und Konfiguration
- Das DXP-300 ist ein PVD-Laserbeschichtungssystem im Labormaßstab zur Herstellung von supraleitenden Dünnfilmen, Halbleiterfilmen, ferroelektrischen Filmen und anderen funktionalen Dünnschichten.
- Geeignet für Dünnschichtmaterialforschung und Kleinserienvorbereitung an Universitäten und Forschungseinrichtungen.
Zusammensetzung
- Sputter-Vakuumkammer
- Rotierende Zielplattform
- Antioxidative Substratheizplatte
- Arbeitsluftkreis- und Entlüftungssystem
- Montagemaschine
- Vakuummesssystem
- Elektrische Steuerung
Technische Daten
- Modell: DXP-300
- Hauptvakuumkammer: Kugel, Ø300 mm
- Vakuumsystem: Mechanische Pumpe + Molekularpumpe + Schieber
- Enddruck: ≤6.67*10-5 Pa (nach Baking und Entgasung)
- Vakuumwiederherstellung: Erreicht 5*10-3 Pa in 20 min (Spezialverfahren: kurz an Luft aussetzen, mit trockenem Chlor aufblähen, dann evakuieren)
- Rotierende Zielplattform: Zielgröße Ø30 mm; bis zu 4 Ziele; jedes Ziel kann rotieren; Drehzahl 5–60 rpm
- Substratheizplatte — Probengröße: 1 inch
- Substratheizplatte — Bewegung: kontinuierliche Substratrotation; Drehzahl 5–60 rpm
- Maximale Substrattemperatur: 800℃ ±1℃
- Luftkreissystem: Massendurchflussregler, 1 Kanal
- Laser-Strahl-Scanning: 2D-Scanning-Mechanik (zweiachsig)
- Computer-Steuerung: Steuert Plattenrevolution, Zielrotation, Probenrotation und -temperatur, Laser-Scanning und zugehörige Funktionen
- Stellfläche — Hauptgerät: 850 × 850 mm²
- Stellfläche — Schaltschrank: 700 × 700 mm² (1 Set)
Anwendungen
- Dünnschichtmaterialforschung: Supraleiter, Halbleiter, Ferroelektrika und funktionale Filme
- Kleinserien-Probenvorbereitung für F&E und akademische Experimente
- Prozessentwicklung und Parameterauslegung im Labormaßstab
Optionen und Konfiguration
- Anpassbare Zielanordnungen und Zielmaterialien
- Probenhalter und Vorrichtungen für verschiedene Substratgrößen
- Vakuum- und Filterzubehör, zusätzliche Massendurchflusskanäle auf Anfrage
Kataloge
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