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- Vakuum-Beschichtungsanlage
- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Vakuum-Beschichtungsanlage / für kleine Losgrößen DXP-300
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Eigenschaften
- Merkmal
- für kleine Losgrößen
Beschreibung
Übersicht
Zusammensetzung
Technische Daten
Anwendungen
Optionen und Konfiguration
- Das DXP-300 ist ein PVD-Laserbeschichtungssystem im Labormaßstab zur Herstellung von supraleitenden Dünnfilmen, Halbleiterfilmen, ferroelektrischen Filmen und anderen funktionalen Dünnschichten.
- Geeignet für Dünnschichtmaterialforschung und Kleinserienvorbereitung an Universitäten und Forschungseinrichtungen.
Zusammensetzung
- Sputter-Vakuumkammer
- Rotierende Zielplattform
- Antioxidative Substratheizplatte
- Arbeitsluftkreis- und Entlüftungssystem
- Montagemaschine
- Vakuummesssystem
- Elektrische Steuerung
Technische Daten
- Modell: DXP-300
- Hauptvakuumkammer: Kugel, Ø300 mm
- Vakuumsystem: Mechanische Pumpe + Molekularpumpe + Schieber
- Enddruck: ≤6.67*10-5 Pa (nach Baking und Entgasung)
- Vakuumwiederherstellung: Erreicht 5*10-3 Pa in 20 min (Spezialverfahren: kurz an Luft aussetzen, mit trockenem Chlor aufblähen, dann evakuieren)
- Rotierende Zielplattform: Zielgröße Ø30 mm; bis zu 4 Ziele; jedes Ziel kann rotieren; Drehzahl 5–60 rpm
- Substratheizplatte — Probengröße: 1 inch
- Substratheizplatte — Bewegung: kontinuierliche Substratrotation; Drehzahl 5–60 rpm
- Maximale Substrattemperatur: 800℃ ±1℃
- Luftkreissystem: Massendurchflussregler, 1 Kanal
- Laser-Strahl-Scanning: 2D-Scanning-Mechanik (zweiachsig)
- Computer-Steuerung: Steuert Plattenrevolution, Zielrotation, Probenrotation und -temperatur, Laser-Scanning und zugehörige Funktionen
- Stellfläche — Hauptgerät: 850 × 850 mm²
- Stellfläche — Schaltschrank: 700 × 700 mm² (1 Set)
Anwendungen
- Dünnschichtmaterialforschung: Supraleiter, Halbleiter, Ferroelektrika und funktionale Filme
- Kleinserien-Probenvorbereitung für F&E und akademische Experimente
- Prozessentwicklung und Parameterauslegung im Labormaßstab
Optionen und Konfiguration
- Anpassbare Zielanordnungen und Zielmaterialien
- Probenhalter und Vorrichtungen für verschiedene Substratgrößen
- Vakuum- und Filterzubehör, zusätzliche Massendurchflusskanäle auf Anfrage
Kataloge
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Vacuum Equipment
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.