Vakuum-Beschichtungsanlage für Elektronenkanone DXMC-500A

Der DXMC-500A ist ein PVD-Beschichtungssystem mit Elektronenstrahl zur Verdampfungsabscheidung von Metallen (einschließlich hochschmelzender Metalle) und bestimmten Oxiden. Es verfügt über einen 270°-deflektierten Elektronenstrahl, Plasma-Glow-Discharge-Reinigung und integrierte Prozesssteuerung für Labor- und Leichtindustriebetrieb.

Haupttechnische Parameter

• Vakuumkammer: SUS304 Edelstahl, Größe Φ500 mm × H600 mm, Fronttür mit Sichtfenster zur Beobachtung von Elektronenkanone und Werkstück.
• Elektronenkanone: ein E-Type 10 kW Kanone unten in der Kammer mit pneumatischer Blende; Ablenkwinkel 270°; sechslöchriges wassergekühltes Kupferkristell (elektrisch transponierbar).
• Thermische Verdampfung: zwei rotierende, schaltbare thermische Verdampfungsquellen; elektronische Kanonenverdampfungsquelle SEBG-103C (10 kW, 4-Loch-Kristell).
• Vakuumsystem: Turbomolekularpumpe FF-200/1200 (wassergekühlt) + mechanische Pumpe 8 L/s; GV200 pneumatisches Hauptventil aus Edelstahl; DN40 Wellrohrleitungen; Erholung bis 5×10^-6 Torr ≤ 40 min; Endvakuum 5×10^-7 Torr.
• Vakuumregelung: Molekularpumpe + mechanische Pumpe mit hochpräzisem pneumatischem Schieberventil und Verriegelungsschutz; Wasser-, Gas- und Phasenausfall-Alarme inklusive.
• Vakuummessgerät: digitales Kombinationsvakuummeter ZDF-5227.
• Zentralsteuerung: Siemens PLC mit Touchscreen zur zentralen Steuerung von Vakuum, Bake, Rotation, Verdampfung, Beleuchtung und Alarmen.
• Spannvorrichtung: rotierender Halter für 4-inch oder 6-inch Substrate; Drehzahl 0–10 rpm; Schichtgleichmäßigkeit innerhalb der wirksamen Beschichtungsfläche ≤ ±3% (6-inch Spezifikation).
• Dickenregelung: Quarzkristall-Dickenmesser Schnittstelle; Dickencontroller (inland) mit automatischer Verdampfungsraten- und Blendensteuerung; Messgerät mit 2 Sonden.
• Backen: Heizung über dem Werkstückträger, gesteuert durch digitalen Temperaturregler; max. Backtemperatur 350 ℃.
• Kühlwasser für Elektronenkanone: Durchfluss ≥ 10 L/min; Eingangsdruck ≥ 0.15 MPa; Eingangstemperatur ≤ 25 ℃.
• Zusätzlich: Hochdruck-Reinigungsstab für Plasma-Glow-Discharge; MFC Gas-Massendurchflussregler D07-7 (1 Kreis).
• Host und Rack: Host 1300 × 1200 × 1600 mm; Montagegestell (Stahlprofil, lackierte Panels); Schaltschranksgröße 700 × 700 × 1760 mm.

Konfigurationsliste (aus Produkt Tabelle)

• Vakuumkammer (Φ500 × H600 mm), Fronttür, SUS304 — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG
• Sichtfenster (an der Tür, Φ100 mm) — EA — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Sichtfensterblende (manuell, umkehrbares dunkles Glas) — Set — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Innenauskleidung Anti-Verschmutzungsplatte (Edelstahl) — Set — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Lamellenblende (verhindert Staub in der Absaugleitung) — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG
• Turbolader-Pumpe (FF-200/1200, wassergekühlt) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Mechanische Pumpe (8 L/s) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Vakuum-Hauptventil (GV200, Edelstahl) — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG
• Leitung (DN40 Metallwellrohr) — Set — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Winkelventil (KF40) — EA — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Digitales Kombinations-Vakuummeter (ZDF-5227) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Gas-Massendurchflussregler (D07-7) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Substrattisch (6-inch Gleichmäßigkeit ≤ ±3%) — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG
• Thermische Verdampfungsquelle (umschaltbar) — Gruppe — Menge: 2 — Hersteller: DEXINMAG
• Elektronische Kanonenverdampfungsquelle (SEBG-103C, 10 kW, 4-Loch) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Glow-Reinigungsstab (mit Netzteil) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Montagegestell (Stahlprofil, lackiert) — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG
• Dickenmesser (2 Sonden) — Set — Menge: 1 — Hergestellt in China
• Hauptsteuer-Stromversorgung — Set — Menge: 1 — Hersteller: DEXINMAG

Verschleißteile (Verbrauchsmaterial)

• Kristalle — pcs — Menge: 10 — Bereitgestellt von DEXINMAG
• Elektronenkanonen-Filament — pcs — Menge: 10 — Bereitgestellt von DEXINMAG
• Gummiring 19×3.55 — pcs — Menge: 10 — Bereitgestellt von DEXINMAG
• Fensterglas Bleiglas D117×10 — pcs — Menge: 2 — Bereitgestellt von DEXINMAG

Installationsanforderungen

• Kühlwasser: Einstromtemperatur ≤ 20 ℃; Einstromdruck ≥ 0.3 MPa; Durchfluss ≥ 2 m³/h.
• Stromversorgung Instrumente: 380 V / 3-Phasen 5-Leiter, 50 Hz; Phasendifferenz ≤ 2%; Gesamtleistung ≥ 30 kW. Einphasen 220 V ± 10%. Querschnitt Neutralleiter und Schutzleiter ≥ 10 mm².
• Druckluftversorgung: Durchfluss ≥ 0.8 m³/min; Versorgungsdruck ≥ 0.6 MPa.
• Anzahl und Spezifikation der Gasflaschen bestimmt der Anwender nach Versuchsanforderungen; bereiten Sie Substrate, Zielmaterial und Arbeitsgas vor (z. B. Argon hochrein).
• Aufstellfläche: ca. 2 m × 3 m × 2.5 m (H).

Technische Spezifikationen

• Kammergröße: Φ500 mm × H600 mm.
• Endvakuum: 5×10^-7 Torr; Erholung auf 5×10^-6 Torr ≤ 40 Minuten.
• Elektronenkanone: 10 kW; Ablenkung 270°; sechslöchriges wassergekühltes Kupferkristell.
• Thermische Quellen: 2 umschaltbare Quellen; elektronische Kanone SEBG-103C (10 kW, 4-Loch).
• Pumpen: Turbomolekularpumpe FF-200/1200 (wassergekühlt) + mechanische Pumpe 8 L/s; DN40 Leitungen; GV200 Edelstahl-Hauptventil.
• Dickenkontrolle: Quarzkristall-Sonde und Controller; 2 Sonden; automatische Steuerung von Verdampfungsrate und Blende.
• Rotation: unterstützt 4-inch oder 6-inch Substrate; Drehzahl 0–10 rpm; Gleichmäßigkeit ≤ ±3% (wirksame 6-inch Fläche).
• Backen: bis zu 350 ℃, digitaler Temperaturregler.
• Kühlung (Kanone): Durchfluss ≥ 10 L/min; Einstromdruck ≥ 0.15 MPa; Einstromtemperatur ≤ 25 ℃.
• Steuerung: Siemens PLC mit Touchscreen; integrierte Steuerung von Vakuum, Bake, Rotation, Verdampfung, Beleuchtung und Alarmen.
• Host Größe: 1300 × 1200 × 1600 mm; Schaltschrank: 700 × 700 × 1760 mm.