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- Beschichtungsanlage
- Xiamen Dexing Magnet Tech. Co., Ltd.
Vakuum-Beschichtungsanlage Thin Film Solar Cell Continuous Preparation EquipmentTrocken
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Eigenschaften
- Merkmal
- Vakuum
- Art der Beschichtung
- Trocken
Beschreibung
Die kontinuierliche Anlage zur Herstellung dünnschichtiger CIGS-Solarzellen wird für die Entwicklung und Kleinserienfertigung von dünnschichtigen Solarzellen auf Kupfer-, Indium-, Gallium- und Selenbasis eingesetzt.
Aufbau
Technische Daten
Aufbau
- Evaporations-/Beschichtungskammer für Kupfer, Indium, Gallium und Selen
- Sputterkammer für Molybdän
- Sputterkammer für Kupfer/Indium/Gallium
- ZnO-Sputterkammer
- Laser-Photoetching-Kammer
- Pufferkammer für elektrochemische Fertigung/Verarbeitung
- Proben-Einführkammer (manuell)
- Probenübergabekammer und Probenlager/-einrichtung
- Strahlquelle/Ofen
- Magnetisch gesteuertes Target und magnetisches Übergabemechanismus für Proben
- Probenheizeinheit und Probenwagen
- Vakuumpumpsystem, Vakuummesssystem
- Gaskreislaufsystem und elektrische Steuerung
Technische Daten
- Enddruck der Beschichtungskammer: 6,6×10^-8 Pa
- Enddruck der Sputterkammer: 6,6×10^-5 Pa
- Proben-Einführkammer: manuell öffnen/schließen; Kapazität: bis zu 6 Proben
- Probensubstrat: Glas; typische Größe: 100 × 100 × 3 mm
- Probenkapazität der Sputterkammer: 1 Probe
- Probenhandhabung: Substrate können beheizt und im Vakuum manuell an die jeweiligen Stationen übergeben werden
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Vacuum Equipment
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.