Kristallwachstumsmaschine

Der Ofen zur Züchtung von Siliziumkarbidkristallen ist ein induktionsbeheiztes System, das zur Herstellung von Siliziumkarbid-Monokristallen mittels Physical Vapor Deposition (PVD) in einer inerten (Argon-)Atmosphäre ausgelegt ist. Er vereint Ofenhardware, Vakuum- und Gasführung, Induktionsheizung sowie computergesteuerte Automatik zur Durchführung stabiler, reproduzierbarer Wachstumsprozesse mit automatischer Prozessaufzeichnung.

Produktübersicht:

• Hauptbaugruppen: Ofenkammerkomponenten, obere Ofenkammerkomponenten, Probenträgermechanismus, Übertragungsbestandteile der Temperaturmessfenster, Vakuumerfassungs- und Messsystem, Gassystem, Wassersystem, Induktionsheizsystem, Automatiksteuerungssystem.

Vakuumkammeraufbau:

• Wachstumskammer: Quarzrohrkonstruktion mit oberen und unteren Dichtungsflanschen aus 316L-Edelstahl, oberflächenbehandelt; Abdichtung mittels importierter Fluorkautschukdichtung.

Abscheidungs- und Heizverfahren:

• Induktive Erwärmung eines Graphit-Tiegels, der Karbidpulver enthält; Sublimation und Abscheidung auf einem Siliziumkarbid-Seed (PVD-Verfahren) in Argonatmosphäre.

Elektro-/Steuersystem:

• Computergesteuertes System mit Touchscreen-Anzeige; Prozess gesteuert durch einen hochzuverlässigen programmierbaren Computer-Controller (PCC) mit vollautomatischer Steuerung und Prozessdatenaufzeichnung.

Zusätzliche Hinweise:

• Aufbau und Betrieb der Anlage sind auf Stabilität ausgelegt und umfassen mehrere Schutzeinrichtungen; Massenstrom- und Temperaturregelung sind präzise.

Technische Daten:

• Innendurchmesser der Quarzhöhle: 400 mm.
• Höhe der Quarzhöhle: 1100 mm.
• Gezüchteter Kristalldurchmesser: geeignet für 6 Zoll.
• Endvakuum (kalter Zustand, leerer Ofen): ≤ 6.6E-5 Pa.
• Vakuumleckrate des Systems (Quarzhöhle): ≤ 5.0×10-7 Pa·L/s.
• 12‑Stunden-Druckhalteindex (kalter leerer Ofen): ≤ 5 Pa.
• Probenmaß / Temperaturreferenz: 6 Zoll (Seed/Kristallgröße unterstützt).
• Empfohlene Installationsfläche: größer als 12 m²; Mindestraumhöhe: 4,5 m.
• Prozesssteuerung: programmierbarer Computer-Controller (PCC) mit Touchscreen und automatischer Kristallwachstumssteuerung (vollständige Prozessautomatisierung und Datenaufzeichnung).