Temperiersystem Semistat S 4400

Produktbeschreibung
Der Semistat S 4400 ist eine thermoelektrische Point-of-Use-Temperaturregelung für Prozessanwendungen, die eine schnelle und präzise Temperaturregelung erfordern. Der geringe Platzbedarf und die Möglichkeit der Unterflurinstallation am Einsatzort minimieren die belegte Reinraumfläche. Die präzise Regelung auf ±0,1 K verbessert die Wafer-to-Wafer-Homogenität und führt zu deutlichen Energieeinsparungen gegenüber kompressorbasierten Systemen.

Leistungsmerkmale

• Thermoelektrischer Prozessthermostat mit geringem Energieverbrauch
• Leiser und vibrationsarmer Betrieb durch kältemittelfreie Kühltechnologie
• Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich
• Anschluss zum Spülen mit sauberer, trockener Luft (CDA) zur Vermeidung von Kondensation
• Verwendung von perfluorierten Wärmeträgerflüssigkeiten
• Wassergekühlte Ausführung
• Kompakte Abmessungen und geringes Gewicht
• Sehr geringes Volumen an Temperierflüssigkeit
• SEMI S2- und F47-konform

Arbeitsbereich

• Minimale Arbeitstemperatur: -20 °C
• Maximale Arbeitstemperatur: 90 °C
• Temperaturkonstanz: ±0,1 K

Kälteleistung (Beispiele)
Temperatur — Kälteleistung 50 Hz — Kälteleistung 60 Hz
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Technische Daten (nach DIN 12876)

• Arbeitstemperaturbereich: -20 ... 90 °C
• Temperaturkonstanz: ±0,1 K
• Minimale Heizleistung: 12 kW
• Minimales Füllvolumen: 2,5 L
• Maximales Füllvolumen: 2,8 L
• Abmessungen (B×T×H): 194 x 300 x 560 mm
• Gewicht: 38 kg
• Netzversorgung: Connection to PSC