Kompaktes Thermostatbad Semistat S 2400

mit konstanter Temperaturfür Thermostatwassergekühlt

Produktbeschreibung
Point-of-Use (POU) thermoelektrischer Prozessthermostat zur präzisen Temperaturregelung in Halbleiter- und Laborprozessen. Ermöglicht bis zu 90 % Energieeinsparung gegenüber kompressorbasierten Systemen. Kompakte Bauweise ermöglicht Unterflurinstallation am Einsatzort zur Minimierung der Reinraumfläche. Schnelle und präzise Regelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K verbessert die Wafer-to-Wafer-Homogenität.

Leistungsmerkmale

• Thermoelektrischer Prozessthermostat mit geringem Energieverbrauch
• Kältemittelfreie Kühltechnik: leiser und vibrationsarmer Betrieb
• Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich
• Anschluss für CDA-Spülung zur Vermeidung von Kondensation
• Verwendung perfluorierter Wärmeträgerflüssigkeiten
• Wassergekühlte Ausführung verfügbar
• Geringer Platzbedarf und Gewicht
• Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen
• SEMI S2 und F47 konform

Arbeitsbereich

• Arbeitstemperatur min.: -20 °C
• Arbeitstemperatur max.: 90 °C
• Temperaturkonstanz: 0.1 ± K

Kälteleistung
Temperatur — Kälteleistung 50 Hz — Kälteleistung 60 Hz
20 °C — 2,45 kW — 2,45 kW
10 °C — 1,93 kW — 1,93 kW
0 °C — 1,40 kW — 1,40 kW
-10 °C — 0,88 kW — 0,88 kW
-20 °C — 0,35 kW — 0,35 kW

Zusätzliche Informationen

• Artikel-Nr.: L003277
• Geräteklasse: Thermoelektrische Prozessthermostate / Prozessthermostate

Technische Daten

• Arbeitstemperaturbereich: -20 ... 90 °C
• Temperaturkonstanz: 0.1 ± K
• Min. Heizleistung: 6 kW
• Min. Füllvolumen: 1.25 L
• Max. Füllvolumen: 1.6 L
• Abmessungen (BxTxH): 116 x 300 x 560 mm
• Gewicht: 27 kg (Netto 26.81 kg)
• Netzversorgung / Anschluss: Connection to PSC