Temperiergerät ohne Anzeige Semistat S 1200

thermoelektrischProzess

Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht. Leistungsmerkmale Thermoelektrischer Prozessthermostat mit geringem Energieverbrauch Leiser und vibrationsarmer Betrieb durch kältemittelfreie Kühltechnologie Keine Filter oder DI-Komponenten erforderlich Mit einem Anschluss zum Spülen mit sauberer, trockener Luft (CDA) zur Vermeidung von Kondensation Verwendung von perfluorierten Flüssigkeiten Wassergekühlte Ausführung Geringe Baugröße und geringes Gewicht Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen SEMI S2 und F47 konform Technische Merkmale (nach DIN 12876) Temperaturkonstanz 0.1 ± K Heizleistung min. 3 kW Füllvolumen min. 1 L Füllvolumen max. 1.3 L Abmessungen (BxTxH) 116 x 232 x 470 mm Gewicht 15 kg Netzversorgung Connection to PSC