H3-DB20HF ist ein vollautomatisches Vor-Sinter-Platziergerät, das für F&E-Tests und die Massenproduktion von SiC-Modulen entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über ein modulares Design mit standardisierten Flusslinien, die in Serie geschaltet und an spezifische Produktionsanforderungen angepasst werden können.
Hauptfunktionen- Vorheizung
- Vorpressung (Vorladen)
- Düsenheizung
- Hochdruck-Platzierung
Konstruktionsmerkmale- Modulares Design, das das Hintereinanderschalten standardisierter Flusslinien ermöglicht
- Geeignet für F&E-Tests und Serienproduktion von SiC-Modulen
- Unterstützt Multichip-Handhabung mit flexiblem Wechsel der Aufnahmewerkzeuge
Anwendungsbereiche- Photonik
- Leistungsgeräte
- Mikrowellen-RF-Gerätebereich
- Bereich neuer Energiefahrzeuge
Technische Parameter (Kurzfassung)- Front-/Back-Referenzmontage — Montageverfahren
- Heißpressmontage — Montageprozess umfasst Silberfilm-Druck und Silberfilm-Transfer
- Anwendungsszenarien — SiC-Module
Eigenschaften / Technische Spezifikationen- Montagegenauigkeit: ±3 μm (Standardplatte); ±7 μm (abhängig von der Anwendung)
- Anlageneffizienz: UPH ≈ 1000 (abhängig von der Anwendung)
- Multichip-Fähigkeit: bis zu 5 verschiedene Aufnahmewerkzeuge; feste Bewegung mit flexiblem Wechsel
- Legierungsheizung: elektrische Heizung, thermostatisch geregelt, maximale Heiztemperatur 250°C
- Materialkompatibilität: 2" GEL-PAK, 12" Wafer-Rahmen
- Bonding-Genauigkeit: ±5 μm @ 3σ Platziergenauigkeit; ±0.1° @ 3σ Drehgenauigkeit