Molybdänlegierung

Produktübersicht
Bauteile und Ersatzteile für den Strahlengang von Ionenimplantationsanlagen, ausgelegt für hohe Temperaturen, Materialreinheit und prozesssicheren Betrieb. Hergestellt aus Refraktärmetallen, technischem Graphit und Keramiken; lieferbar nach OEM‑Geometrien oder als Plansee‑optimierte Varianten.

Funktion & Vorteile

• Jahrzehntelange Erfahrung in der Halbleiterkomponentenfertigung
• Fertigung nach OEM‑Spezifikation oder Plansee Advanced Standard (PAS)
• Strikter Material‑ und Maßnahmenten‑Kontrolle
• Globales Produktions‑ und Liefernetzwerk für kritische Ersatzteile

Wesentliche Produktmerkmale

• Hochtemperaturbeständigkeit (bis ≈1.400 °C, werkstoffabhängig)
• Beständig gegen starke elektromagnetische Felder und Prozessgase
• Hohe Materialreinheit und kontrollierte Schichtstärken zur Partikelminimierung
• Fertigungstoleranzen im µm‑Bereich für kritische Geometrien

Produkte (typische Bauteile und Ersatzteile)

• Kammern (Graphit, Wolfram, Molybdän und Legierungen)
• Filamente / Heizkörper (Wolfram, Wolframlegierungen)
• MRS‑Vanes / Schaufeln und Blenden (Graphit, Wolfram, Molybdän, Legierungen)
• Halter, Brackets und Kathoden (Wolfram, Molybdän, Legierungen)
• Terminals und Analysator‑Teile (Graphit)
• Isolatoren und keramische Komponenten
• Allgemeine Ersatzteile (Graphit, Refraktärmetalle, Legierungen, Keramik, Stahl)

Fertigung & Optimierung

• Fertigung nach OEM‑Zeichnungen oder als PAS‑Version mit optimierten Geometrien und Verschleißzonen
• Internationale Produktionsstandorte (z. B. Japan, USA, Korea, China, Indien) zur Einhaltung von Lieferzeiten und Qualitätsanforderungen
• Präzisionsbearbeitung und strenge Qualitätsprüfungen in allen Fertigungsstufen

Vorteile des Plansee Advanced Standard (PAS)

• Einfacheres Ein‑/Ausbauen und Handling
• Verlängerte Bauteillebensdauer und weniger Ausfallzeiten
• Geringerer Reinigungs‑ und Wartungsaufwand
• Geometrie‑ und Werkstoffoptimierungen können die Lebensdauer kritischer Teile deutlich erhöhen (z. B. PAS MRS‑Vanes)

Kompatible OEMs / unterstützte Implanter‑Familien (Beispiele)

• Applied Materials (9000, 9200, 9500, Quantum‑Serie, xR‑Serie)
• ehem. Varian (VIISta, VIISion, XP/HD‑Serien)
• Axcelis (GSD / NV / Optima‑Familien)
• Nissin (NH / PR / EXCEED‑Familien)
• SEN, Ulvac und weitere spezialisierte Hersteller

Werkstoffe & Prozessstabilität

• Werkstoffe: Molybdän, Wolfram, optimierte Graphit‑Grades, technische Keramiken und ausgewählte Legierungen
• Spezielle Graphitqualitäten reduzieren Abrieb und Partikelbildung
• Konstruktive Verbesserungen (z. B. optimierte Schaufelwinkel) vermindern chemischen/thermischen Verschleiß

Technische Spezifikationen

• Maximale Einsatztemperatur: bis ≈1.400 °C (werkstoffabhängig)
• Materialien: Mo, W, Graphit, Keramik, ausgewählte Legierungen und Stahl
• Typische Bauteile: Kammern, Filamente, MRS‑Vanes/Schaufeln, Halter, Kathoden, Terminals, Analysator‑Teile, Isolatoren, Ersatzteile
• Präzision: Fertigungstoleranzen im Mikrometerbereich
• Produktionsstandards: OEM‑Spezifikation oder PAS‑optimierte Teile
• Unterstützte Systeme: kompatible Lösungen für 100+ Implanter‑Modelle/Familien