Niobium-Sputtertarget

Molybdän kathodisch

Kurzbeschreibung
Molybdän‑Niob (MoNb) wird in Touchpanels als korrosionsbeständiger Kontakt für ITO‑Sensoren eingesetzt. Plansee MoNb‑Sputtertargets werden in einem integrierten Prozess vom reinen Metallpulver bis zum fertigen Target hergestellt. Plansee liefert Flachtargets und Rohrtargets in gängigen Industriemaßen.

Ihre Vorteile

• Reinheit: > 99,97 %
• Relative Dichte nach dem Sintern: > 98,5 %
• Homogene Mikrostruktur und chemische Zusammensetzung

Herstellung
Die Fertigung erfolgt über pulvermetallurgische Verfahren: sorgfältiges Mischen reinster Metallpulver, auf die Anwendung abgestimmter Nb‑Gehaltsanteil (bis zu 10 Gew.-%), Pressen, gleichmäßiges Verdichten im Sinterofen, Umformen sowie interne Endbearbeitung und Bonding. Mehrere Patente schützen die Herstellprozesse von Plansee.

Varianten / Verfügbarkeit

• Flach‑ und Rohrtargets (rotierende Targets)
• Niobgehalt wählbar bis 10 Gew.-%
• Lieferbar in allen gängigen Industriemaßen (Sondermaße auf Anfrage)

Verwandte Werkstoffe
Plansee bietet zudem Molybdän‑Tantal (MoTa) und Molybdän‑Wolfram (MoW) Targets für besonders korrosionsbeständige Schichten an.

Charakteristika / Technische Spezifikationen

• Materialsystem: Molybdän (Mo) – Niob (Nb) Legierung (MoNb)
• Nb‑Gehalt: bis zu 10 Gew.-% (anwendungsabhängig)
• Reinheit: > 99,97 %
• Dichte nach Frittierung: > 98,5 %
• Mikrostruktur: homogen und kontrolliert
• Formate: Flach‑ und Rohrtargets
• Herstellung: Pulvermetallurgie — Mischen, Pressen, Sintern, Umformen; interne Endbearbeitung und Bonding
• Anwendungen: korrosionsbeständige Kontakte für ITO‑Touchpanels und weitere anspruchsvolle PVD‑Beschichtungen