Wolfram-Verdampferschiffchen

MolybdänTantalfür die thermische Verdampfung

Produkt‑Übersicht
Wir fertigen Verdampferschiffchen aus Wolfram (W), Molybdän (Mo), Molybdän‑Lanthan (ML), Molybdän‑Yttriumoxid (MY) und Tantal (Ta) für das Widerstandsbedampfen (thermisch). Unter Strom erwärmen die Schiffchen das zu verdampfende Material. Die sehr niedrigen Dampfdrücke der Schiffchenwerkstoffe verhindern, dass Schiffchenmaterial in den Dampf und die abgeschiedene Schicht gelangt, und sorgen so für hohe Schichtreinheit und lange Lebensdauer der Schiffchen.

Das Verfahren
Die thermische Vakuum‑Bedampfung (Widerstandsbedampfen) ist ein PVD‑Verfahren, bei dem das Beschichtungsmaterial in einer Vakuumkammer bis zur Verdampfung erhitzt und auf Substrate kondensiert wird. Typische Schichtmaterialien sind Al, Ag, Cr, TiN, SiO2 u. a. Die Wahl von Werkstoff und Geometrie des Schiffchens beeinflusst Prozessstabilität, Kontamination und Lebensdauer maßgeblich.

Ihre Vorteile auf einen Blick

• Sehr niedrige Dampfdrücke der Schiffchenwerkstoffe — minimale Kontamination
• Hohe Korrosionsbeständigkeit im Kontakt mit geschmolzenen Beschichtungsmaterialien
• Gute elektrische Leitfähigkeit für Widerstandsheizung
• Sehr hohe Schmelzpunkte und Formstabilität bei Prozesstemperaturen
• Verfügbare Geometrien zur Prozessoptimierung: gerade, Stufentyp, mit Spritzschutz

Standard‑Lieferprogramm / Werkstoffe
Lieferbar sind Schiffchen aus Wolfram, Molybdän (inkl. ML/MY) und Tantal. Wolfram hat den höchsten Schmelzpunkt und gute Korrosionsbeständigkeit; Dotierungen wie Kalium‑silicat erhöhen Korrosionsschutz und Formstabilität. Molybdän ist bei hohen Temperaturen formstabil; La2O3 (ML) erhöht Duktilität und Korrosionsbeständigkeit, Y2O3 (MY) verbessert die Zerspanbarkeit. Tantal zeichnet sich durch extrem niedrigen Dampfdruck und hohe Korrosionsbeständigkeit aus.

Typen / Geometrien

• Straight type – Schiffchen in gerader Ausführung
• Step type – Schiffchen mit Stufe zwischen Klemmteil und Oberteil
• Non‑splash type – Schiffchen mit Flügeln oder Abdeckung zur Minimierung von Spritzern

Tabelle — geeignete Schiffchen‑Werkstoffe für Beschichtungsmaterialien (Übersicht)
Die Kompatibilität von W, Mo (ML/MY) und Ta mit gängigen Beschichtungsmaterialien ist in der Kompatibilitätstabelle vermerkt. Symbole: + geeignet, ++ empfohlen. Die endgültige Auswahl hängt von Prozesstemperatur, Dampfdruck und Verdampfungszyklen ab; für material‑spezifische Empfehlungen konsultieren Sie bitte die Tabelle oder unsere Anwendungstechnik.

Hinweise
Bei der Auswahl sind Dichte, Schmelz‑ und Siedepunkt des Beschichtungsmaterials, Verdampfungsrate und Prozessparameter zu berücksichtigen. Die im Tabellenwerk gekennzeichneten Eignungen dienen als Orientierung; die finale Validierung sollte unter realen Prozessbedingungen erfolgen.

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Werkstoffe: W, Mo, ML, MY, Ta
• Niedrige Dampfdrücke der Schiffchenwerkstoffe → keine Verunreinigung der Schichten
• Korrosionsbeständige Werkstoffe; Dotierungen (z. B. Kalium‑silicat, La2O3, Y2O3) verbessern Korrosionsschutz und Duktilität
• Gute elektrische Leitfähigkeit geeignet für Widerstandsbedampfung
• Sehr hohe Schmelzpunkte und Formstabilität bei Verdampfungstemperaturen
• Verfügbare Geometrien: gerade, Stufentyp, Non‑splash
• Creuset‑Einsätze und Heizdrähte für Elektronenstrahl‑ und Widerstandsverdampfung verfügbar; Geometrie und Material sind prozessoptimierbar
• Standardabmessungen und Artikelnummern im Online‑Shop; kundenspezifische Geometrien auf Anfrage