Tantal-Sputtertarget

Molybdän kathodisch

Produktübersicht
Molybdän‑Tantal (MoTa) Sputtertargets verbinden die sehr gute Haftung von Molybdän auf Glas und dessen hohe elektrische Leitfähigkeit mit der chemischen Beständigkeit von Tantal. Sie sind für Elektrodenschichten und andere funktionale PVD‑Schichten in TFT‑LCDs und Touchpanels vorgesehen, wenn verbesserte Korrosionsbeständigkeit und kontrollierte nasschemische Strukturierbarkeit erforderlich sind.

Herstellung
Plansee stellt MoTa‑Targets mittels pulvermetallurgischer Verfahren her: Auswahl hochreiner Metallpulver, kontrolliertes Mischen, Pressen, Sintern, präzise Umformung und Zerspanung. Targets werden in firmeneigenen Bonding‑Shops finalisiert und montagefertig geliefert. Der Tantalgehalt ist anwendungsspezifisch einstellbar, bis ca. 11 Gew.-%

Leistung und Vorteile

• Verbesserte chemische und korrosionsbeständige Eigenschaften für Elektrodenschichten
• Exzellente Haftung auf Glas und hohe elektrische Leitfähigkeit
• Homogene Mikrostruktur und Zusammensetzung für konstante PVD‑Beschichtungen
• Gute nasschemische Ätzbarkeit zur Strukturierung
• Herstellung optimiert zur Minimierung von Partikelbildung und Arcing im PVD

Kompetenz‑ und Entwicklungszentrum
Beschichtungsmaterialien und Prozessparameter werden im PVD‑Applikationslabor von Plansee unter praxisnahen Bedingungen entwickelt und validiert. Die Zusammenarbeit mit Kunden und Anlagenherstellern ermöglicht eine schnelle Qualifizierung und applikationsspezifische Anpassungen.

Rohstoffe und Versorgung
Plansee kontrolliert die gesamte Wertschöpfungskette vom zertifizierten konfliktfreien Tantalpulver bis zum fertigen Target und sichert so Rückverfolgbarkeit und zuverlässige Versorgung. Qualitätskontrollen reduzieren metallische und nichtmetallische Verunreinigungen zur Begrenzung der Partikelbildung.

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Reinheit: ≥ 99,97 % (Metallbasis)
• Target‑Dichte: > 98 % (relative Dichte)
• Tantalgehalt: anwendungsbedingt, bis ~11 Gew.-%
• Herstellungsverfahren: Pulvermetallurgie (Mischen, Pressen, Sintern, Umformen, Zerspanung, Bonding)
• Einsatzgebiet: Elektrodenschichten in TFT‑LCD, Touchpanels und andere PVD‑beschichtete funktionale Schichten
• Schlüsseleigenschaften: exzellente Glashaftung, hohe Leitfähigkeit, verbesserte chemische Beständigkeit, homogene Beschichtungsraten, reduzierte Partikelbildung