Keramikring

ScheibenAluminiumoxidSchutz

Halbleiter-Wafer-Träger Aluminiumoxidscheibe und keramischer Randring Hochpräzise keramische Komponenten verbessern das Ertragsmanagement bei der Verarbeitung von Halbleiterwafern. Innovacera-Keramikkomponenten bieten präzise Dimensionsstabilität, Ultraflachheit und Glätte und halten die Wafer während der Inspektion und Verarbeitung im Vakuum. Konfigurationen mit geringem Oberflächenkontakt minimieren das Risiko, dass Partikel auf der Rückseite die Wafergeometrie für Präzisionsanwendungen negativ beeinflussen. Der keramische Ring von INNOVACERA hat die folgenden Vorteile: 1. Verschleiß- und Abriebfestigkeit: Tonerde ist eine zähe technische Keramik mit sehr guter Verschleißfestigkeit. 2. Hochpräzise Abmessungen mit Anzugstoleranz, es einfacher, eine perfekte Passung Beziehung zu erhalten. 3. Chemische Inertheit, beständig gegen die meisten starken Säuren und Laugen. 4. Hochtemperaturbeständigkeit: bis zu 1600°C in oxidierenden und reduzierenden Atmosphären beständig. 5. Hervorragende mechanische Eigenschaften, Härte, Druck- und Biegefestigkeit sind bei rostfreiem Stahl viel höher. 6. Elektrische Isolierung: Der Isolationsdurchbruch beträgt mindestens 20KV. 7. Schutzatmosphären oder Hochvakuum bei hohen Temperaturen, um Verunreinigungen zu vermeiden. 8. Chemische Korrosionsbeständigkeit bei hohen Temperaturen, auch bei starken Säuren oder Laugen. 9. Geringere Materialkosten bei anspruchsvollen Anwendungen als andere technische Keramiken.