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Keramikring AluminiumoxidIsolation
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Eigenschaften
- Form
- Ring
- Zusammensetzung
- Aluminiumoxid
- Weitere Eigenschaften
- Isolation
Beschreibung
Der keramische Fokusring ist ein kritisches Teil für den Halbleiterätzprozess. Wenn eine Aluminiumlegierung als Material für die Ätzkammer gewählt wird, kann es leicht zu einer Verunreinigung durch Metallpartikel kommen. Daher wird hochreine (über 99,5 %) Aluminiumoxid-Keramik bei der Herstellung von keramischen Fokusringen als Kammermaterial für Plasmaätzgeräte verwendet.
Merkmale der Keramik-Fokusringe：
-Abnutzungsbeständigkeit,
-Korrosionsbeständigkeit,
-Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften,
-Elektrische Isolierung,
-Erfüllt den Qualitätsstandard von Halbleiterprodukten.
Innovacera hat mehr als 10 Jahre Erfahrung mit technischen Keramiklösungen, fortschrittlichen Keramikkomponenten und der Halbleiterindustrie. Wir haben einen hohen Standard des Qualitätssystems und einen strengen Qualitätskontrollprozess eingeführt, jede Charge von Produkten wird einer strengen Qualitätskontrolle unterzogen. Die Dienstleistungsphilosophie von Innovacera ist die Erfüllung von Qualitätsanforderungen und Kundenzufriedenheit.
Wenn Sie die Aluminiumoxid-Keramik-Fokus-Ringe benötigen, kontaktieren Sie uns bitte.
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Alumina Ceramic
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.