Keramikring

AluminiumoxidBornitridSchutz

Alumina Ceramic Insert Ring Chamber ist eine spezielle Variante plasmabeständiger Komponenten, die die einzigartigen Eigenschaften von Aluminiumoxid (Al₂O₃) nutzt, um in extremen Plasmaumgebungen zu funktionieren. Der keramische Einsatzring aus Aluminiumoxid bietet eine hohe Hitzebeständigkeit, elektrische Isolierung und Sputtering-Resistenz und dient als Schutzbarriere und Stabilisator. Sie schirmt kritische Komponenten (z. B. Elektroden, Sensoren) vor Ionenbeschuss und chemischer Erosion ab, verhindert Leckströme, sorgt für eine gleichmäßige Plasmaverteilung (z. B. beim Ätzen von Halbleitern) und widersteht der Kontamination durch reaktive Gase (z. B. Cl₂, F₂). Trotz Sprödigkeit und begrenzter Temperaturwechselbeständigkeit verbessern Verbundstoffverstärkungen oder -beschichtungen (z. B. Bornitrid) den Einsatz in extremen Anwendungen wie der Halbleiterindustrie und der Luft- und Raumfahrt, wobei Kosten und Leistung im Gleichgewicht bleiben.