Luftkissen-Linearführung

70 mmmaßgefertigtPräzision

Produktübersicht
Die ultrapräzise Z-Achsen-Führung aus Alumina-Keramik ist eine wichtige Bewegungskomponente für Koordinatenmessgeräte (CMM) und präzise Luftlager-Plattformen. Präzisionsgeschliffen und poliert kann sie als Z-Achsen-Mantel, Luftlager-Führungsbalken oder Sondenhalter dienen. Innovacera's keramische Z-Achse verwendet eine lange Hohlstruktur mit quadratischen, rechteckigen oder runden Bohrungen, um sich an Gerätekonstruktionen anzupassen. Ihre präzisionsbearbeiteten Außenflächen lassen sich mit vorgespannten Luftlagern, Sondenhaltern, Linearmaßstäben, Antriebsmechanismen und pneumatischen Ausgleichssystemen integrieren. Ein dünner Luftfilm zwischen Führungsfläche und Luftlager ermöglicht berührungslose, reibungsarme Bewegung, reduziert Verschleiß und verbessert Laufruhe und Reproduzierbarkeit bei hohen Geschwindigkeiten.

Produkteigenschaften

• Geometrische Genauigkeit im Mikrometerbereich
• Ausgelegt für Luftlager-Führungssysteme
• Hochsteife Hohlstruktur (quadratische, rechteckige oder runde Bohrungen)
• Hervorragende dimensionsstabilität und geringe thermische Ausdehnung im Vergleich zu Metallen
• Verschiedene hohle Querschnitte verfügbar
• Maßgeschneiderte Befestigungsbohrungen und Schnittstellen möglich

Spezifikationen
Model | Dimensions W × H × L | Flatness | Parallelism | Perpendicularity
INV0646490-S | 64 × 64 × 900 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0686899-S | 68 × 68 × 999 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707010-S | 70 × 70 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707012-S | 70 × 70 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0707014-S | 70 × 70 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808010-S | 80 × 80 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808012-S | 80 × 80 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm
INV0808014-S | 80 × 80 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm

Anwendungen

• Koordinatenmessgeräte: Geeignet für Brücken-, Portal- und Hochpräzisions-Scanning-CMM als keramischer Z-Achsen-Mantel oder präziser Luftlager-Führungsbalken.
• Präzisions-Luftlager-Bewegungsplattformen: Für Plattformen mit Anforderungen an geringe Reibung, hohe Positionierwiederholgenauigkeit und stabile lineare Bewegung.
• Halbleiter-Inspektionsgeräte: Als bewegungsstrukturelles Bauteil für Wafer-Inspektion, Package-Inspektion, Präzisionsausrichtung und hochgenaue Sichtmessplattformen aufgrund dimensionsstabiler Eigenschaften und geringer thermischer Ausdehnung.
• Optische und Laser-Messgeräte: Für optische Messplattformen, Laserinterferometer, Kontur-/Rundheitsmessgeräte und präzise Scan-Systeme.
• Ultrapräzise Werkzeugmaschinen: Einsetzbar als keramische Führung in ultrapräzisen Bearbeitungsmaschinen, Präzisionspositionierplattformen und berührungslosen Bewegungssystemen.
• Präzisionsbearbeitung und Qualitätskontrolle: Die Fertigung langer, hohler keramischer Z-Achsen-Bauteile erfordert Kontrolle der Materialeigenschaften, Sinterverformung, koordinierte Mehrflächenbearbeitung und Mikrometer-Prüfung über große Strecken.

Technische Daten

• Material: Alumina (Al2O3) primär; andere technische Keramiken je nach Anwendung verfügbar
• Verfügbare hohle Querschnitte: quadratische, rechteckige, runde Bohrungen zur Anpassung an das Gerätdesign
• Oberflächenfinish: präzisionsgeschliffene und polierte Außenflächen für die Integration mit Luftlagern
• Geometrische Genauigkeit: typische Planheit ≤ 3 μm, Parallelität ≤ 3 μm, Rechtwinkligkeit ≤ 2 μm
• Längen bis zu 1400 mm in den gelisteten Standardmodellen verfügbar
• Hoher Steifigkeit-zu-Gewicht-Wert; die Hohlstruktur reduziert die Trägheit für Hochgeschwindigkeits-Scanning
• Niedrige thermische Ausdehnung und hervorragende dimensionsstabilität im Vergleich zu Metallen und Granit
• Ausgelegt zur Schnittstelle mit vorgespannten Luftlagern, Sondenhaltern, Linearmaßstäben, Antriebsmechanismen und pneumatischen Ausgleichssystemen
• Ermöglicht berührungslose, reibungsarme Bewegung über einen dünnen Luftfilm in Verbindung mit Luftlagern, verbessert die Wiederholgenauigkeit und reduziert Verschleiß
• Anpassbare Montagebohrungen, Schnittstellen und Prüf-/Mess-Datums für anwendungsspezifische Integration