Verschiebe-Positioniertisch INV

XYZMehrachsengeführt / reibungslos

Übersicht
Die Ultra-Präzisions Keramische, luftgelagerte Mehrachsen-Bewegungsplattform von Innovacera verwendet hochreines Aluminiumoxid für die Hauptführungen und präzisionsbezogene Referenzflächen. In Kombination mit aerostatischen Lagern, einer konfigurierbaren Mehrachsen-Architektur sowie anpassbaren Antriebs- und Positionsrückführsystemen bietet sie eine stabile, reibungsarme Bewegungsbasis für Präzisionsinspektion, optisches Scanning, Halbleiteranlagen und Automatisierungssysteme.

Funktionsweise
Im Betrieb bildet gefilterte Druckluft einen gleichmäßigen Luftfilm zwischen den Luftlagern und den keramischen Führungsflächen, wodurch sich bewegende Komponenten ohne direkten mechanischen Kontakt betrieben werden können. Im Vergleich zu konventionellen Rollenführungen reduziert die luftgelagerte Konstruktion Reibung, Low-Speed-Stick-Slip, mechanischen Verschleiß und durch Schmierung verursachte Störungen und verbessert so die Glätte des kontinuierlichen Scannings, die Geschwindigkeitskonstanz und die Wiederholgenauigkeit.

Fertigung und Präzision
Die keramischen Kernkomponenten können präzisionsgeschliffen, gelappt und poliert werden, um Planheit, Parallelität, Rechtwinkligkeit, Oberflächenrauheit und kritische Montage-Referenzen zu kontrollieren. Plattformabmessungen, Achskonfigurationen, Befestigungsbohrungen, pneumatische Schnittstellen sowie Antriebs- und Rückführschnittstellen lassen sich an vorhandenen Platz und Bewegungsanforderungen anpassen.

Produktmerkmale

• Berührungslose Bewegung durch Luftlager
• Führungen und Referenzflächen aus hochreinem Aluminiumoxid
• Geometrische Genauigkeitskontrolle auf Mikrometer-Ebene
• Sanftes Scannen und stabile Geschwindigkeitsregelung
• Langfristige Genauigkeitserhaltung
• Geeignet für saubere und kontaminationsarme Umgebungen
• Konfigurierbare Mehrachsen-Architektur

Spezifikationen
Platform Series | Size Class | Flatness | Parallelism | Perpendicularity | Remarks
INV Series | 600 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 800 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized
INV Series | 1200 Series | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Customized

Typische Anwendungen
Präzisionsmesstechnik und Inspektionsgeräte
Einsetzbar als Bewegungsmodul für präzise Maßprüfung, Oberflächenprofilmessung, berührungslose Messung, Sondenscanning und Koordinatenmessmaschinen (KMG).

Halbleiter- und Wafer-Inspektion
Einsetzbar für Wafer-Inspektion, Substratscanning, Photomaske-Inspektion, Gehäuseprüfung sowie präzise Positionierungs- und Handhabungsplattformen in Halbleiteranlagen.

Optische und photonische Systeme
Verwendbar für Strahlausrichtung, Linseninspektion, interferometrische Messungen, Faser-Kopplung, Scannen optischer Komponenten sowie Montage und Ausrichtung photonischer Bauteile.

Laserbearbeitung und Mikro-/Nanofabrikation
Einsetzbar in Laserzuschnitt, Laserbeschriftung, Mikrobearbeitung, präziser Belichtung und anderen Prozesssystemen, die eine stabile Scangeschwindigkeit erfordern.

Display- und Elektronikinspektion
Verwendbar für Scanning, Inspektion und Positionierung von Glassubstraten, Display-Panels, Leiterplatten und präzisen elektronischen Bauteilen.

Automatisierte Montage
Einsetzbar in hochpräzisem Dosieren, Platzieren, Ausrichten, Pick-and-Place, Montage und Inline-Inspektionsausrüstungen.

Technische Daten

• Material: Hochreines Aluminiumoxid (Al2O3) für Führungen und präzise Referenzkomponenten
• Lagerart: Aerostatische (Luft-) Lager, die einen gleichmäßigen Luftfilm für berührungslose Bewegung bilden
• Geometrische Genauigkeit: Planheit, Parallelität und Rechtwinkligkeit kontrolliert bis ≤ 2 μm (siehe Tabelle für INV Series 600/800/1200)
• Serien / Größenklassen: INV Series — 600, 800, 1200 (anpassbar)
• Oberflächenbehandlung: Präzisionsschleifen, Lappen und Polieren zur Kontrolle von Rauheit und Referenzen
• Bewegungsarchitektur: Konfigurierbare Mehrachsen-Plattformen (X/Y/Z/θ)
• Leistung: Sanftes Scannen, stabile Geschwindigkeitsregelung, geringe Reibung, reduzierte Stick-Slip und Verschleiß
• Umgebung: Geeignet für saubere und kontaminationsarme Umgebungen
• Anpassung: Plattformabmessungen, Hub/Laufweg, Befestigungsmuster, pneumatische Schnittstellen, Antriebs- und Rückführschnittstellen anpassbar