Niederdruck-Phosphordiffusion und -dotierung.
- Technische Lösungen für hohe Schichtwiderstände.
- Einzigartige doppellagige, verschachtelte Ofentürstruktur, die das Problem der Metaphosphorsäure an der Ofenmündung effektiv löst.
- Einzigartige Temperaturzoneneinstellung, die die Gleichmäßigkeit des Blechwiderstandes an der Ofenöffnung und am Ofenende effektiv gewährleistet.
- Hochgeschwindigkeits- und stabiler integrierter Modulbootschiebemechanismus.
- Intelligente automatische Steuerung.
- MES-Software mit unabhängigen geistigen Eigentumsrechten.
- Passendes S.C. Smart Production Management System.
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