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PVD-Auftragsmaschine
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Eigenschaften
- Methode
- PVD
Beschreibung
·Integrierte physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und reaktive Plasmaabscheidung (RPD).
·Die Produktpalette reicht von Forschungs- und Entwicklungsanlagen bis hin zu Anlagen für die Serienfertigung.
·Serienfertigungskapazität: 100 MW, 250 MW, 600 MW.
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