·Einkammerbauweise mit kompakter Stellfläche und kurzer Betriebszeit.
·Eignung für die Abscheidung mehrschichtiger Verbundschichten mit verschiedenen Vorläufern und Materialien bei umfassender Prozessskalierbarkeit.
·Präzise Steuerung der Schichtdicke und -gleichmäßigkeit gewährleistet eine dichte Schichtstruktur mit hoher Konformität, geringer Defektdichte und hervorragenden Eigenschaften.
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