Automatisches Handlingsystem

für WaferIndustrie

·Mit Portalmechanismus zum Be- und Entladen von Wafern (oder einem importierten sechsachsigen Roboter zum Be- und Entladen von Wafern) und einem sechsachsigen Roboter zur Handhabung der Kassetten; zwei Arbeitsstationen zum Wechseln beim Be- und Entladen von Wafern, um einen hohen Durchsatz und die Stabilität der Anlage zu gewährleisten; ·Die wichtigen Bauteile wie Kämme und Greifer bestehen aus speziellen Materialien und werden mit speziellen Verarbeitungstechniken hergestellt, wodurch Beschädigungen der Wafer durch die Kämme/Greifer erheblich reduziert werden; die speziell entwickelten Konstruktionen ermöglichen den schnellen Austausch einzelner Kämme/Greifer; ·Modular aufgebaute Steuerungsprogrammstruktur; die HMI ermöglicht über Netzwerkkommunikation einen schnellen Datenaustausch mit der SPS, was die Erweiterung der Anlagenfunktionen und die Wartung erleichtert; mit benutzerfreundlicher Mensch-Maschine-Schnittstelle und einem ausgereiften Erkennungs- und Alarmsystem, um den automatischen und stabilen Betrieb der Anlage zu gewährleisten; ·Kompatibel mit MES-Systemen und intelligenten AGV-Fertigungslinien; Module zur Messung des Schichtwiderstands sowie weitere Prüfmodule sind optional erhältlich; weitere Funktionen können nach Kundenwunsch angepasst werden.