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Roll-to-Roll-Beschichtungsmaschine Sputterzur Herstellung von Dünnfilm
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Eigenschaften
- Merkmal
- Roll-to-Roll, Sputter
- Anwendung
- zur Herstellung von Dünnfilm
Beschreibung
·Kombinierte Verdampfungs- und Sputterkammer;
·Verdampfungskammer: einseitige Verdampfung zur Beschichtung mit Niedertemperatur-Verdampfungsmaterialien (Al, Li usw.);
·Sputterkammer: 6 Paare rotierender Targets, austauschbar gegen planare Targets;
·Nachbehandlungskammer: verfügbar für Erwärmung, Kühlung, Gasbehandlung und Plasmabehandlung usw.
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Roll To Roll And Optical Equipment Series
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