·Erweiterbare Beschichtungskammern für Mehrprozess- und Hochgeschwindigkeitsbeschichtung;
·Plasmaoberflächenbehandlung zur effektiven Verbesserung der Haftung der Dünnschichten;
·Mehrkammer-Sputterkammer zur Steigerung der Produktionseffizienz;
·Mit mehreren Sätzen isolierter Sputterkammern ermöglicht die Abscheidung verschiedener Materialien;
·Anpassbare Beschichtungsbreite von 300 bis 1650 mm;
·Integrierte optische Online-Prüfung und Online-Messung des Schichtwiderstands;
·Vollautomatisches Roll-to-Roll-Steuerungs- und Ausrichtungssystem.
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