· Betrieb mit mehreren Kathoden für die Keimschicht und TCO-Tandemstrukturen mit mehreren Brechungsindizes.
· Kein Beschuss des Substrats bei gleichzeitiger Beibehaltung einer hohen Mobilität.
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.