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Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD PECVDfür dünne Siliziumschichten
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Eigenschaften
- Methode
- Hoch -PE-CVD
- Art der aufgebrachten Schicht
- für dünne Siliziumschichten
Beschreibung
·Die Tunneloxidschicht sowie die i-Poly- und D-Poly-Schichten können im selben Ofenrohr aufgebracht werden, was dazu beiträgt, die Prozessschritte zu reduzieren, die Ausbeute zu verbessern und die Bruchrate wirksam zu senken;
·Da keine Heißwand-Effekte auftreten, weist das Quarzrohr eine lange Lebensdauer auf;
·Geringe Ablagerungen an den Wänden, die sich leicht entfernen lassen;
·Präzise Dotierung; Möglichkeit, weitere effizienzsteigernde Dotierelemente einzubringen, geeignet für Prozesserweiterungen und mit großem Spielraum für Effizienzsteigerungen;
·Patentierte Anti-Leitungs-Technologie.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.