Vakuumdurchführung

Mehrfachhermetisch abgedichtetkorrosionsbeständig

Produktübersicht
Der keramisch-metallische Hochspannungs-Doppelstift-Isolator von INNOVACERA ist ein Aufbau zur Übertragung elektrischer Leistung durch die Wand einer Vakuumkammer bei gleichzeitiger Wahrung der elektrischen Isolierung und Vakuumdichtheit. Geeignet für Vakuumbeschichtungsanlagen, thermische Verdampfungssysteme und Vakuumerhitzer, die zuverlässige interne Durchführungen benötigen.

Details
Das Bauteil verfügt über zwei unabhängig isolierte Anschlüsse mit außengewindeten Leiterstangen für einfache externe Verbindungen. Eine SUS304-Edelstahlbasis ermöglicht die verschweißte Integration in die Vakuumkammer oder Montageflansche. Die Keramik-Metall-Verbindung besteht aus 96% Alumina-Keramik, Kovar-Leitern, C1220-Kupferkomponenten und einer SUS304-Basis und gewährleistet elektrische Isolierung, mechanische Stabilität und Vakuumdichtung bei wiederholten Temperaturzyklen. Optional ist ein Quarzglas-Schutz verfügbar, der die Keramik und Anschlussbereiche vor Verdampfungsablagerungen schützt.

Hauptmerkmale

• Doppelstift-Elektrodurchführung
• Keramik-Metall vakuumdichte Konstruktion
• Verschweißte Montage für sichere Integration
• Außengewindete Leiterstangen für einfache Anschlüsse
• Optionaler Quarzschutz gegen Ablagerungen
• Ausgelegt für wiederholte Temperaturzyklen
• Kompaktes integriertes Design
• Anpassbare Schnittstelle an die Ausrüstung

Technische Spezifikation

• Produkttyp — Keramischer Hochspannungs-Doppelstift-Isolator
• Anzahl der Leiteranschlüsse — 2
• Keramikmaterial — 96% Alumina-Keramik
• Leitermaterial — Kovar
• Kupferkomponentenmaterial — C1220-Kupfer
• Basismaterial — SUS304-Edelstahl
• Montagemethode — Verschweißte Installation
• Anschlusskonfiguration — Außengewindete Leiterstangen
• Leckrate — 4.2 × 10⁻⁶ Pa·m³/s
• Hauptanwendungen — Vakuumbeschichtungsanlagen und Verdampfungssysteme

Typische Anwendungen

• Thermische Verdampfungsbeschichtungsanlagen
• Widerstandsverdampfungsquellen
• Verdampfungsschiffchen und Filamente
• Tiegelheizer
• Vakuum-Widerstandsheizungssysteme
• Laborgeräte für Vakuumabscheidung

Vorteile

• Zuverlässige elektrische Isolation zwischen Leitern und Vakuumkammer
• Stabile Übertragung elektrischer Leistung durch die Wand
• Sichere verschweißte Integration mit Kammer oder Flansch
• Gute Hitzebeständigkeit und Maßstabilität
• Geringeres Ausgasungsverhalten gegenüber polymerisolierten Lösungen
• Geeignet für Langzeitbetrieb im Vakuum und wiederholte Temperaturzyklen