Durchführung für Öfen und Trockenschränke

für Messgerätefür Heizungenfür Stromversorgung

Überblick
In Vakuumsystemen stellen elektrische Vakuurdurchführungen einen hermetischen elektrischen Weg von der Atmosphäre in das Vakuum bereit und bewahren die Integrität der Kammer. Sie dienen der Energiezufuhr für Heizelemente, Hochspannungsquellen und Strahlprozesse unter Hoch- und Ultrahochvakuumbedingungen.

Designkern: Abdichtung, Isolation und Stromtragfähigkeit

• Hergestellt mittels bewährter Keramik‑Metall‑Lotverbindung, um atomare, hermetische Dichtungen zu erzielen, geeignet für Hochvakuum und UHV; stabile Leistung während Hochtemperatur‑Bake-Out.
• Mechanischer und elektrischer Aufbau basierend auf 304/316L Edelstahlflanschen, kompatibel mit CF-, KF- und ISO‑Schnittstellen; Leiter aus sauerstofffreiem Kupfer, Kupfer‑Nickel‑Legierungen oder Kovar; optional Gold‑ oder Nickelbeschichtung zur Reduzierung des Übergangswiderstands; Isolatoren aus hochreiner Aluminiumoxidkeramik (Al2O3) für elektrische Isolation und thermische Stabilität.
• Flexible elektrische Konfigurationen für Einzel-, Doppel‑ und Mehrleiteranordnungen; erhältlich als Hochstrom-, Hochspannungs‑ oder kombinierte Ausführungen — konfigurierbar für Hunderte Ampere oder Zehntausende Volt je nach Auslegung.

Wesentliche Produktvorteile

• Hermetische Abdichtung: Keramik‑Metall‑Bindung eliminiert Leckpfade und erhält das Vakuumniveau sowie die Prozessreinheit.
• Großer Anpassungsbereich: Spannung, Strom, Leiteranzahl, Flanschtyp und Einbaudimensionen an die Systemanforderungen anpassbar.
• Beständigkeit gegenüber rauen Umgebungen: Breiter Temperaturbereich, verträglich gegenüber Partikelbestrahlung, kompatibel mit Plasma und korrosiven Atmosphären.
• Standardisierte Integration: Entspricht internationalen Vakuumflanschstandards für direkte Montage und verkürzte Integrationszeiten.
• Niedriges Ausgasen und lange Lebensdauer: Aufbau aus anorganischen Materialien mit extrem geringer Gasentwicklung und vernachlässigbarer Alterung.

Typische Einsatzszenarien

• PVD/CVD‑Vakuumbeschichtungsanlagen: Stromzufuhr für Heizelemente oder Anoden‑Kathoden‑Versorgungen.
• Vakuumöfen und Wärmebehandlungssysteme: Durchführungen für Heizelemente und interne Energie-/Steuermodule.
• Elektronen‑ und Ionenstrahlgeräte: Zuführung von Hochspannungs‑ oder Hochstromversorgung in evakuierte Kammern zur Beschleunigung oder Abscheidung.
• Vakuumprüf‑ und Analysegeräte: Mehrkanal‑Elektrikanschlüsse für REM, Massenspektrometer und ähnliche Instrumente.

Hinweise
Das Produkt vereint Vakuumtechnik, Materialwissenschaft und präzise Lötverfahren mit Hochspannungsisolationsdesign; die Leistungsfähigkeit beeinflusst die Verarbeitungsfähigkeit, Zuverlässigkeit und Sicherheit von Vakuumgeräten.

Spezifikationen / Technische Merkmale

• Abdichtung: Keramik‑Metall‑Brazing für hermetische/atomare Dichtheit geeignet für Hochvakuum und UHV.
• Flanschkompatibilität: CF, KF und ISO Standard‑Schnittstellen; Flansche typischerweise aus Edelstahl 304/316L.
• Leitermaterialien: Sauerstofffreier Kupfer, Kupfer‑Nickel‑Legierungen, Kovar; optional Gold‑ oder Nickelbeschichtung zur Reduzierung des Kontaktwiderstands.
• Isoliermaterial: Hochreine Aluminiumoxidkeramik (Al2O3) für verlässliche Isolation und thermische Stabilität.
• Elektrische Konfigurationen: Einzel-, Doppel‑ und Mehrleiteranordnungen; konfigurierbar als Hochstrom (Hunderte A), Hochspannung (Zehntausende V) oder kombinierte Typen.
• Umweltverträglichkeit: Breiter Betriebstemperaturbereich; beständig gegen Partikelstrahlung; kompatibel mit Plasma und korrosiven Atmosphären.
• Ausgasen und Lebensdauer: Anorganische Konstruktion mit extrem geringer Gasentwicklung und minimaler Alterung.
• Individualisierung: Spannung, Strom, Leiteranzahl, Flanschtyp und Einbaudimensionen auf Kundenwunsch erhältlich.