Durchführung für Zylinder für Verbrennungsmotoren HV

Vakuumhermetisch abgedichtetkorrosionsbeständig

Übersicht
Die Hochspannungsdurchführung für Vakuum INNOVACERA ist ein elektrisches Durchführungsbauteil für Hochvakuumumgebungen. Sie überträgt hermetisch Hochspannung bzw. Hochspannungssignale von der Atmosphäre in eine Vakuumkammer und erhält dabei die Vakuumdichtigkeit und Isolationsleistung. Als Isolator dient 95% Alumina-Keramik in Kombination mit Metallteilen (304 Edelstahl, sauerstofffreier Kupfer, Kovar), um Stabilität unter anspruchsvollen Prozessbedingungen zu sichern.

Anwendungen

• Excimer-Lasersysteme: zuverlässige Hochspannungszuführung für die Entladungskammer
• Halbleiter- und Optoelektronikindustrie: Lithographie, Waferbearbeitung, Fertigung optischer Bauteile, Faserstruktur-Beschreibung
• Display-Panels: LTPS-Annealing, Verarbeitung flexibler Bildschirme
• Automobilfertigung: Oberflächenbehandlung von Motorzylindern, Airbag-Auslösesysteme
• Neue Energien & Forschung: Herstellung photovoltaischer Zellen, Oberflächenmodifikation, Laborversuche

Aufbau und Materialien

• Isolator: 95% Alumina-Keramik — hohe Durchschlagsfestigkeit, hochtemperaturbeständig, geringe Ausgasung
• Leiter/Stift: Kovar-Legierung oder sauerstofffreier Kupfer (OFC) — angegliche thermische Ausdehnung und sehr gute Leitfähigkeit
• Gehäuse/Flansch: 304 Edelstahl oder Kovar-Legierung — korrosionsbeständig, schweißbar, vakuumtauglich

Technische Spezifikationen

• Isoliermaterial: 95% Al₂O₃ Keramik
• Metallteile: 304 Edelstahl / Kovar-Legierung / sauerstofffreier Kupfer
• Spannungsbereich: 1 kV – 30 kV (höhere Spannungen auf Anfrage)
• Betriebstemperatur: -40°C bis +300°C (anpassbar)
• Helium-Leckrate: ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
• Isolationswiderstand: >10¹² Ω
• Flansch/Anschlussoptionen: CF, KF oder kundenspezifisch

Hauptmerkmale

• Hermetische Hochspannungsübertragung für Hochvakuumanwendungen
• Hohe Durchschlagsfestigkeit und geringe Ausgasung durch 95% Alumina-Isolator
• Materialauswahl für thermische Ausdehnungsanpassung und Vakuumdichtung
• Anpassungsmöglichkeiten für Spannung, Flanschtyp und Temperaturbereich
• Fertigung und Prüfung zur Sicherstellung niedriger Helium-Leckrate und hoher Isolationswiderstände

Anpassung und Bestellung

• Spannung, Stiftkonfiguration, Flanschtyp (CF/KF/kundenspezifisch) und Temperaturbereich können an die Anwendung angepasst werden
• Entwürfe für höhere Spannungen und spezielle Materialien auf Anfrage verfügbar
• Gelieferte Dokumente: Dichtheitsprüfbericht, Materialzertifikate und elektrische Prüfdaten