Durchführung für Halbleiter

VakuumMehrfachhermetisch abgedichtet

Übersicht Innovacera Hochzuverlässige 8-polige Keramik-Vakuumdurchführung, ausgelegt für UHV-Systeme und kompatibel mit CF35 (CF2.75) Flanschen. Bietet eine Alternative zu standardmäßigen Keramik-Metall-Dichtungsdurchführungen mit gleicher Spannungsfestigkeit, Polanordnung und Flanschstandard und unterstützt dabei kundenspezifische Anpassungen und kürzere Lieferzeiten.

Vorteile

• Entspricht den Spezifikationen standardmäßiger Keramik-Metall-Dichtungsdurchführungen
• Unterstützt 10 kV Hochspannung und 30 A Strom
• Zuverlässige UHV- hermetische Abdichtung
• Standardflansch CF2.75 für einfachen Austausch mit CF35-Schnittstellen
• Anpassbares Leiterwerkstoff (Molybdän oder Kupfer) und Pin-Konfiguration
• CAD-Zeichnungen und technischer Support verfügbar

Anwendung

• Halbleiteranlagen
• Vakuumkammern
• HV-Prüfsysteme
• Ionenstrahl- und Plasmasysteme
• Ultra-Hochvakuum (UHV) Systeme

Technische Daten

• Anzahl Pins: 8
• Spannungsfestigkeit: 10 kV
• Strombelastbarkeit: 30 A
• Leiterdurchmesser: 0,094 Zoll (2,3876 mm)
• Leitermaterial: Kupfer oder Wolfram/Molybdän (oder kundenspezifisch)
• Isolator: 95 % Alumina-Keramik
• Flansch: CF2.75 (CF35)
• Betriebstemperaturbereich: -269 bis 450 °C
• Maximaldruck: 1500 psig
• Gesamtgröße: OD 69,5 × 169 mm