Vakuumdurchführung

hermetisch abgedichtetchemikalienbeständigabriebfest

Überblick
INNOVACERA liefert vakuumdichte, hermetisch verschlossene Keramik‑zu‑Metall, Glas‑Keramik und Glas‑zu‑Metall Bauteile für Industrie-, Luftfahrt‑ und Medizinanwendungen. Diese Baugruppen verbinden die hohe Temperatur‑ und Korrosionsbeständigkeit von Keramiken mit der mechanischen Festigkeit und Zähigkeit von Metallen. INNOVACERA bietet technische Beratung und angepasste Dichtungs‑Lösungen an.

Materialien für Keramik‑zu‑Metall Versiegelung:
Gehäusematerial / Isolator / Leiter
NiFe Legierungen & NiFeCO (Kovar) / 94%-99% Al2O3 / Kovar; kupferkerniges Kovar
300 & 400 Serie SST / AlN / 52 Legierung
Cu und Cu‑Legierungen / BeO / Inconel
Inconel / / Edelstähle
42, 46, 49 Legierungen / /

Eigenschaften der hermetischen Versiegelung:

• Hermeticity: bis zu 1×10-9 atm cc/sec He
• Betriebstemperatur: > 500°C abhängig von Material und Geometrie
• Isolationswiderstand: typischerweise > 1 GΩ @ 100 VDC

Merkmale der Keramik‑zu‑Metall Versiegelung:

• Hohe Abriebfestigkeit
• Hohe mechanische Festigkeit
• Ausgelegt für Drücke über 10.000 PSI
• Hitzebeständiger Einsatz
• Niedrige dielektrische Verluste
• Leckageprüfung mit Massenspektrometer
• Hohe chemische Beständigkeit

Keramik‑zu‑Metall Fügeverfahren:

• Reinigung
• Auftragen der Paste
• Metallisierung
• Nickel‑Plattierung
• Montage
• Löten/Brazing
• Prüfung & Verpackung

Anwendungen der Keramik‑zu‑Metall Versiegelung:

• Relaisisolatoren
• Kondensatoren
• Magnetrons
• Reisewellenröhren (TWT)
• Röntgenröhrenkomponenten
• Elektrochirurgische Instrumente
• Implantierbare Gehäuse und Durchführungen
• Gasdetektoren
• Elektronenmikroskope (TEM, SEM)
• Hochspannungsdurchführungen
• Hochtemperaturdurchführungen
• RF‑Durchführungen
• Optoelektronik und Leistungsröhren
• Laserrohre
• Thyristoren
• Dioden
• Usw.

Technische Daten / Spezifikationen

• Marke: INNOVACERA
• Produkttyp: Vakuumdichte hermetische Keramik‑zu‑Metall, Glas‑Keramik und Glas‑zu‑Metall Bauteile
• Typische Dichtheit: bis zu 1×10-9 atm cc/sec He
• Betriebstemperatur: > 500°C (material‑ und geometrieabhängig)
• Isolationswiderstand: > 1 GΩ @ 100 VDC (typisch)
• Typische Gehäusematerialien: NiFe Legierungen & NiFeCO (Kovar), 300 & 400 Serie Edelstähle, Cu und Cu‑Legierungen, Inconel, 42/46/49 Legierungen
• Typische Isolator‑Materialien: 94%-99% Al2O3 (Aluminiumoxid), AlN, BeO
• Typische Leiter‑Materialien: Kovar, kupferkerniges Kovar, 52 Legierung, Inconel, Edelstähle
• Mechanische Leistungswerte: hohe Abriebfestigkeit, hohe mechanische Festigkeit, geeignet für Drücke >10.000 PSI
• Qualitätsprüfung: Leckageprüfung mit Massenspektrometer