ÜbersichtKeramik‑zu‑Metall und Glas‑Keramik‑zu‑Metall Mehrpol‑Durchführungen sind hermetische elektrische Durchführungen mit zwei oder mehr Leitern, entwickelt zur Übertragung von Instrumentierungssignalen, Spannung und/oder Strom in Hoch‑ und Ultrahochvakuum‑Umgebungen. Viele Ausführungen nehmen Stecker auf der Atmosphärenseite auf; ausgewählte Varianten ermöglichen Steckverbinder auf der Vakuumseite.
Anwendungen- Halbleiter‑Prozessanlagen
- Analytische Prüf‑ und Messsysteme
- Druckaufnehmer
- Mess‑ und Regeltechnik in der Energieerzeugung
- Teilchenbeschleuniger und Forschungsanlagen
- Industrielle und Laboröfen
- Energetische Forschungsanlagen
Materialien und MontageDie Empfänger bestehen aus hochreinen, vakuumkompatiblen Materialien. Isolatoren sind hochfeste Alumina‑Keramiken (94%–99% Al2O3), metallisiert durch refraktäres Metall‑Sintern. Metallkomponenten umfassen Kovar®, Edelstahl, Nickel‑Eisen‑Legierungen, Kupfer‑Nickel‑Legierungen, Molybdän und Alumel®. Baugruppen werden mit Kupfer‑, Gold‑Kupfer‑ oder Silber‑Kupfer‑Legierungen gebranzt, um Dichtheit zu gewährleisten.
Ceramic‑to‑Metal Dichtungsmaterialien:Keramik‑Isolator |
Metall |
Löt‑/Brazing‑Legierung94%–99% Al2O3 | Kovar | Kupfer
| Edelstahl | Gold‑Kupfer
| Nickel‑Eisen‑Legierung | Silber‑Kupfer
| Kupfer‑Nickel‑Legierung |
| Molybdän |
Vorteile- Hermetische Dichtung, Lecktest bis 1×10‑10 mbar·L/s He
- Hohe Spannungsfestigkeit (>12 kV DC)
- Hohe Stromlast (bis zu 40 A pro Pin)
- Einsatz in Hochvakuum‑ und UHV‑Umgebungen
- Temperaturbereich: von −250°C bis +450°C
- RoHS‑konform
- Kundenspezifische Ausführungen nach Anforderung möglich
Technische Daten- Produkttyp: Keramik‑zu‑Metall und Glas‑Keramik‑zu‑Metall Mehrpol‑Durchführungen (zwei oder mehr Leiter)
- Typischer Keramikisolator: 94%–99% Al2O3 (Aluminiumoxid)
- Metalle: Kovar®, Edelstahl, Nickel‑Eisen‑Legierungen, Kupfer‑Nickel‑Legierungen, Molybdän, Alumel®
- Brazing‑Legierungen: Kupfer, Gold‑Kupfer, Silber‑Kupfer
- Elektrisch: >12 kV DC Spannungsfestigkeit; bis zu 40 A pro Pin
- Vakuumleistung: geeignet für Hoch‑ und Ultrahochvakuum; hermetisch geprüft bis 1×10‑10 mbar·L/s He
- Temperaturbereich: −250°C bis +450°C
- Konformität: RoHS‑konform
- Typische Verwendung: Übertragung von Instrumentierungssignalen, Spannungen und Strömen in Vakuumsysteme; nimmt Stecker auf Atmosphärenseite auf (einige Ausführungen akzeptieren Stecker auf Vakuumseite)