ÜbersichtDer LITHOBOLT® G2 von ASMPT ist ein Hybridbonder, entwickelt für Das Hybrid‑Bonding Die‑to‑Wafer (D2W) in der fortgeschrittenen Halbleiterverpackung. Er unterstützt 3D‑ und 2,5D‑Integrationsabläufe und ist als Einzelgerät oder in Kaskaden konfigurierbar.
Merkmale- Extrem genaue Ausrichtungs‑ und Bewegungssteuerung, ausgelegt für Hybrid‑Bonding‑Prozesse
- Direktes und kollektives Die‑to‑Wafer (D2W) Hybrid‑Bonding
- Optimierte Interkonnektionsbildung zur Unterstützung von Ausbeute und Durchsatz
- Modulares Design für Stand‑alone‑Einheiten oder kaskadierte Linien zur Produktivitätssteigerung
Anwendungen- Hybridbonder für fortgeschrittene Verpackungslinien in der Halbleiterfertigung
- Die‑to‑Wafer (D2W) Bonding für 3D‑ und 2,5D‑Integration sowie heterogene Integration
Technische Daten- Brand: ASMPT
- Handelsname (Modell): LITHOBOLT® G2
- Produkttyp: Hybridbonder
- Prozess: Direktes und kollektives Die‑to‑Wafer (D2W) Hybrid‑Bonding
- Kernfähigkeiten: Extrem präzise Steuerung; optimierte Interkonnektionsbildung; ausgelegt für hohen Durchsatz
- Design‑Optionen: Stand‑alone oder Kaskadenkonfigurationen
- Zielmärkte / Anwendungen: Halbleiterfertigung, Advanced Packaging, 3D/2,5D und heterogene Integration