Verschiebetisch MS30 piezoelektrischMiniatur
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- Verschiebe
- Weitere Eigenschaften
- Miniatur
- Hub
30 mm
(1,181 in)- Geschwindigkeit
1,2 mm/s
- Ladung
54 g
(1,9 oz)
Beschreibung
für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis (Auflösung bis zu 50nm)
mehrachsenkombinationen ohne Adapterplatten
Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Inertialantrieb mit Messsystem.
Technische Daten
Breite - 52 mm
Höhe - 12,5 mm
Tiefe - 30 mm
Geschwindigkeit - 1,2 mm/s
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Drehmoment (My) - 5 Ncm
Drehmoment (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 170 Bogensekunden
Neigungswinkel - 160 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 3 um
Seitliche Abweichung - 3 um
Informationen zur Messung
Referenzmarke - Mitte
Auflösung - 1 um bis 50 nm
Versorgungsspannung - 5 V
Stromverbrauch - 150 mA
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.