für Ultrahochvakuumbedingungen bis zu 10^(-9) mbar
ultrakompaktes Design
15 x 15 mm Grundfläche
Ultrakleine Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb. UHV-Ausgabe des MS15.
Technische Daten
Breite - 15 mm
Höhe - 7 mm
Tiefe - 15 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Schwungkraft (My) - 4 Ncm
Drehmoment (Mz) - 4 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 3 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 20 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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