XY-Tisch MS15Verschiebepiezoelektrisch2-Achs
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, Verschiebe
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 2-Achs
- Weitere Eigenschaften
- kompakt, vakuumkompatibel, Miniatur
- Hub
10 mm
(0,394 in)- Geschwindigkeit
1,5 mm/s
- Ladung
20 g
(0,71 oz)
Beschreibung
kompakte Bauweise für UHV-Anwendungen
xy-Kombination ohne Adapterplatte
Ultrakleine Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Inertialantrieb für UHV-Anwendungen.
Technische Daten
Breite - 22 mm
Höhe - 7 mm
Tiefe - 15 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 4,5 Ncm
Drehmoment (My) - 1,5 Ncm
Drehmoment (Mz) - 3,2 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 3 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 20 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.