Linearer Tisch MS30VerschiebepiezoelektrischMehrachsen
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear, Verschiebe
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- Mehrachsen
- Weitere Eigenschaften
- Präzision, Miniatur, Mess
- Hub
18 mm
(0,709 in)- Geschwindigkeit
1,2 mm/s
- Ladung
38 g
(1,34 oz)
Beschreibung
für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis (Auflösung bis zu 50nm)
mehrachsenkombinationen ohne Adapterplatten
Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Inertialantrieb mit Messsystem.
Technische Daten
Breite - 40 mm
Höhe - 12,5 mm
Tiefe - 30 mm
Geschwindigkeit - 1,2 mm/s
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Drehmoment (My) - 5 Ncm
Schwungkraft (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Genauigkeit der Führung
Gierwinkel - 150 Bogensekunden
Neigungswinkel - 120 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 2 um
Seitliche Abweichung - 2 um
Informationen zur Messung
Referenzmarke - Mitte
Auflösung - 1 um bis 50 nm
Versorgungsspannung - 5 V
Stromverbrauch - 150 mA
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.