für ultratiefe Temperaturen bis zu 4K
sehr kompakte Bauweise
für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-6) mbar
Miniaturverschiebetische für ultratiefe Temperaturen mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb.
Technische Daten
Breite - 17 mm
Höhe - 8 mm
Tiefe - 32 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 3 Ncm
Schwungkraft (My) - 3 Ncm
Drehmoment (Mz) - 3 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 1 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 1 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 2 um
Seitliche Abweichung - 1 um
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