für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-6) mbar
ultrakompakte Bauweise
xyz - Kombination möglich
Ultrakleine Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb. Vakuum-Ausführung des MS15.
Technische Daten
Breite - 15 mm
Höhe - 7 mm
Tiefe - 15 mm
Geschwindigkeit - 1,5 mm/s
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Drehmoment (My) - 4 Ncm
Drehmoment (Mz) - 4 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 3 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 20 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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