für den geschlossenen Regelkreis (bis zu 50 nm Auflösung)
für das NOVA-System
Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Inertialantrieb für das NOVA-System. Standard-Ausgabe
Technische Daten
Breite - 70 mm
Höhe - 20 mm
Tiefe - 70 mm
Geschwindigkeit - 1 mm/s
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Drehmoment (My) - 5 Ncm
Drehmoment (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 9 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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