XY-Positioniertisch ML17XYZvertikalpiezoelektrisch
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, XYZ, vertikal
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 3-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Miniatur, vakuumkompatibel
- Hub
5 mm
(0,197 in)- Geschwindigkeit
1 mm/s
- Ladung
25 g
(0,88 oz)
Beschreibung
- für Tiefsttemperaturen bis zu 4K
- für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-9) mbar
Miniaturverschiebetische für ultratiefe Temperaturen mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb. UHV-Ausgabe des ML 17.
Technische Daten
Breite - 17 mm
Höhe - 8 mm
Tiefe - 32 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 3 Ncm
Drehmoment (My) - 3 Ncm
Drehmoment (Mz) - 3 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 1 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 1 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 2 um
Seitliche Abweichung - 1 um
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.