für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-6) mbar
viele Montagemöglichkeiten
unser Multitalent
mehrachsenkombinationen ohne Adapterplatten
Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb.
Technische Daten
Breite - 52 mm
Höhe - 12,5 mm
Tiefe - 30 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Schwungkraft (My) - 5 Ncm
Drehmoment (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 170 Bogensekunden
Neigungswinkel - 170 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 3 um
Seitliche Abweichung - 3 um
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