für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-9) mbar
freie Öffnung von 10 mm für den Strahldurchgang
Miniatur-Translatationstische mit freier Öffnung von 10 mm und piezoelektrischem Trägheitsantrieb. UHV-Ausgabe der MS 38.
Technische Daten
Breite - 38 mm
Höhe - 9,5 mm
Tiefe - 40 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 4 Ncm
Drehmoment (My) - 4 Ncm
Drehmoment (Mz) - 4 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 20 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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