Linearer Positioniertisch DS40piezoelektrischMiniaturvakuumkompatibel
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Weitere Eigenschaften
- Miniatur, vakuumkompatibel
- Hub
22 mm
(0,866 in)- Geschwindigkeit
1,2 mm/s
- Ladung
50 g
(1,76 oz)
Beschreibung
für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-9) mbar
besonders flaches Gehäuse (11mm Höhe)
Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb. UHV-Ausgabe des DS 40.
Technische Daten
Breite - 40 mm
Höhe - 11 mm
Tiefe - 40 mm
Schwungkraft (Mx) - 5 Ncm
Schwungkraft (My) - 5 Ncm
Schwungkraft (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.