für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-6) mbar
18 mm Verfahrweg bei 30 x 40 mm Stellfläche
unser Alleskönner unter den Mehrachsenkombinationen ohne Adapterplatten
Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb.
Technische Daten
Breite - 40 mm
Höhe - 12,5 mm
Tiefe - 30 mm
Geschwindigkeit - 1,2 mm/s
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Drehmoment (My) - 5 Ncm
Schwungkraft (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Genauigkeit der Führung
Gierwinkel - 150 Bogensekunden
Neigungswinkel - 120 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 2 um
Seitliche Abweichung - 2 um
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