Die Aluminiumnitrid (AlN) Substrate von Innovacera bieten eine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der dem von Silizium nahekommt, und eine hervorragende elektrische Isolierung, was sie zu einer idealen Wahl für Hochleistungselektronikanwendungen macht. Mit überlegener mechanischer Festigkeit, hoher Durchschlagspannung und hervorragender Beständigkeit gegen thermische Schocks gewährleisten AlN-Substrate zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Umgebungen. Ihre Präzisionsbearbeitungsfähigkeit und anpassbaren Spezifikationen machen sie gut geeignet für IGBT-Leistungsmodule, Hochleistungs-LEDs und fortschrittliche Wärmeableitungskomponenten.
- Merkmale:
- Hohe Wärmeleitfähigkeit
- Thermischer Ausdehnungskoeffizient nahe an Siliziumwafer
- Hohe Durchschlagspannung
- Anwendung:
- Hochleistungs-IGBT-Leistungsmodul
- Hochleistungs-LED
- Hochleistungs-Kühlkörper
Materialeigenschaftstabelle:
Projekt | Testbedingungen | Einheit | AN-170 | AN-200 | AN-230
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Material | – | – | AlN | AlN | AlN
Aussehen | – | – | Hellblau | beige | beige
Oberflächenrauheit | Ra | μm | 0.2~0.75 | 0.2~0.75 | 0.2~0.75
Dichte | – | g/cm³ | ≥3.3 | ≥3.3 | ≥3.3
Physikalische Eigenschaften | Biegefestigkeit | 3-Punkt-Biegewiderstand | MPa | ≥400 | ≥350 | ≥300
| Vickers-Härte | Last 4.9 | GPa | ≥10 | ≥10 | ≥10
| Wasseraufnahme | – | % | – | – | –
Thermische Leistung | Wärmeleitfähigkeit | 25℃ | W/(m·k) | ≥170 | ≥200 | ≥230
| Linearer thermischer Ausdehnungskoeffizient | 25-500℃ | x10⁻⁶ mm/℃ | 4~6 | 4~6 | 4~6
| Thermoschockbeständigkeit | 800℃ | Zeit | ≥10 | ≥10 | ≥10
| Spezifische Wärme | – | J/(kg·K) | 720 | 720 | 720
Elektrische Eigenschaften | Dielektrizitätskonstante | 1MHz/25℃ | – | 8~9 | 8~9 | 8~9
| Dielektrischer Verlust | 1MHz/25℃ | x10⁻⁴ | ≤3 | ≤3 | ≤3
| Volumenwiderstand | 25℃ | Ω·cm | > 10¹⁴ | > 10¹⁴ | > 10¹⁴
| Durchschlagspannung | – | kV/mm | > 17 | > 17 | > 17
Lichtleistung | Reflexionsgrad | Reflexionsmessgerät | – | – | – | –
| Weißgrad | Weißgradmessgerät | – | – | – | –
Spezifikationen und Abmessungen:
Größe (mm) / Dicke (mm) | 0.25 | 0.38 | 0.5 | 0.635 | 0.76 | 1.0 | 1.2 | 1.5 | 2.0
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101.6*101.6 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √
114.3*114.3 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √
120*120 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √
138*190 | | | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √
- Verarbeitung:
- Laserbearbeitung
- Schleifen und Polieren der Blattrauheit
Projekt | Qualifiziert | Spezialgrad
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Innere Maßtoleranz | ±0.05mm | ±0.03mm
Äußere Maßtoleranz | ±0.15mm | ±0.1mm
Lochtoleranz (φ0.07-0.15mm) | ±0.05mm | ±0.02mm
Lochtoleranz (φ > 0.15mm) | ±0.1mm | ±0.02mm
Oberflächenrauheit (μm) | Qualifiziert | Spezialgrad
Schleifen | 0.3-0.6 | 0.3-0.5
Feinschleifen | 0.1-0.4 | 0.1-0.3
Polieren | ≤0.1 | ≤0.05
Technische Spezifikationen / Eigenschaften:
- Material: Aluminiumnitrid (AlN)
- Wärmeleitfähigkeit: ≥170 bis ≥230 W/(m·k) je nach Grad
- Thermischer Ausdehnungskoeffizient: 4~6 x10⁻⁶ mm/℃
- Dielektrizitätskonstante: 8~9 (1MHz/25℃)
- Durchschlagspannung: >17 kV/mm
- Volumenwiderstand: >10¹⁴ Ω·cm
- Dichte: ≥3.3 g/cm³
- Biegefestigkeit: ≥300 bis ≥400 MPa
- Vickers-Härte: ≥10 GPa
- Oberflächenrauheit: 0.2~0.75 μm (Ra)
- Verfügbare Größen: 101.6x101.6 mm, 114.3x114.3 mm, 120x120 mm, 138x190 mm
- Verfügbare Dicken: 0.25, 0.38, 0.5, 0.635, 0.76, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0 mm
- Verarbeitung: Laserschneiden, Schleifen, Polieren