Keramikplatte

RingBornitridIsolation

Heißgepresstes hexagonales Bornitrid wird oft auch als "weißer Graphit" bezeichnet, da es eine ähnliche Schichtstruktur wie Graphit aufweist. Es hat hervorragende thermische Eigenschaften: hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit. Es ist in reduzierenden Atmosphären bis zu 2000 °C und in oxidierenden Atmosphären bis zu 900 °C stabil. Es zeichnet sich durch gute Bearbeitbarkeit, geringe Wärmeausdehnung, Mikrowellentransparenz und hohe Nassbeständigkeit gegenüber geschmolzenen Metallen, Schlacken und Glas aus. Bornitrid-Keramikteile werden häufig als PVD-, MOCVD- und MBE-Systeme, Ofenkomponenten, Schmelztiegel, Isolatoren, Unterlegscheiben, Düsen, Mikrowellenröhren, Kühlkörper und Hitzestrahlungsabschirmungen verwendet. Ein MOCVD-Reaktor ist eine Kammer, die aus einem Material besteht, das nicht mit den verwendeten Chemikalien reagiert. Er muss auch hohen Temperaturen standhalten. Diese Kammer besteht aus Reaktorwänden, einer Auskleidung, einem Suszeptor, Gaseinspritzeinheiten und Temperatursteuerungseinheiten. Im MOCVD-Reaktor wird das Substrat von einem Sockel getragen, der gleichzeitig als Suszeptor dient. Der Sockel/Suszeptor ist die primäre Quelle der Wärmeenergie in der Reaktionskammer. Nur der Suszeptor wird erhitzt, so dass die Gase nicht reagieren, bevor sie die heiße Waferoberfläche erreichen. Die Wände der Reaktionskammer in einem Kaltwandreaktor können jedoch indirekt durch die vom heißen Sockel/Suszeptor abgestrahlte Wärme erhitzt werden, bleiben aber kühler als der Sockel/Suszeptor und das Substrat, das der Sockel/Suszeptor trägt. Daher ist Bornitrid eine gute Wahl, da die Leistungsdichte, die Betriebstemperatur, der Isolationsgrad und die Durchschlagsfestigkeit von Heizelementen durch die Verwendung von Bornitrid als Isolator erheblich verbessert werden können.